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CBr₂F₂ 플라즈마를 이용한 반도체 물질의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
C6F6 플라즈마를 이용한 패터닝 공정에서의 첨가 가스(Ar, O2) 에 따른 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Etch properties of dielectric materials in C7F14 Inductively Coupled Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
플라즈마 활성종 측정을 통한 낮은 지구 온난화 지수를 가진 precursor의 SiO2 식각 특성 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
PFC(Perfluorocarbon) gas 대체 precursor로써 L-FC(Liquid Fluorocarbon)의 회수 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
C₃H₂F₆ Isomer를 이용한 Dielectric 식각 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
SiO₂ 원자층 식각에서 인가 전력 공정 윈도우와 플라즈마 활성종 간 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Nano Pattern 된 Ultra Low-k Dielectric 물질에서의 C₃H₂F6를 이용한 Low Damage 식각 공정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
낮은 GWP를 갖는 C5F8가스를 이용한 플라즈마 공정 중 흡착 및 회수에 관한 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
낮은 GWP의 C₃H₂F6 기반 화합물의 Ultra Low-k Dielectirc 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
A Study on Adsorption and Recovery of Liquid Fluorocarbon Precursors Using Vaporization
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
L- Hydrofulorocarbon Plasma를 이용한 Dielectric 식각 물질 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
L-PFC(Perfluorocarbon)계 가스의 회수 시스템에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
플라즈마 식각 공정 챔버내의 부품 식각률 감소를 위한 전처리 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
What do we know about plasma?
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
L-FC를 이용한 플라즈마 공정 중 회수 및 재사용 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
반응성 이온 식각 공정을 활용한 다결정 실리콘 태양전지의 표면 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
CF₄ 유도결합플라즈마를 이용한 식각 장치의 바이어스 전극에서 측정 된 전기적 특성과 식각률 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
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