메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
조철희 (Chungnam National University) 이장재 (Chungnam National University) 김시준 (Chungnam National University) 이영석 (Chungnam National University) 성인호 (Chungnam National University) 이상호 (Chungnam National University) 유신재 (Chungnam National University)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년 한국진공학회 (제57회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2019.8
수록면
75 - 75 (1page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
#GWP #Liquid precursor #L-PFC #SiO2 etching #capacitively coupled plasma

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

Etch properties of dielectric materials in C7F14 Inductively Coupled Plasma
성다인 ,  탁현우 ,  양경채 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2018 .08
DMZ 자연 생태계 보존을 위한 실효적 준비체계 구축 방안
황성한 ,  전성우 ,  남궁승필 외 3명 환경정책 2019 .06
미세플라스틱과 마이크로비즈(Microbeads)로 인한 해양오염 현황과 해결방안에 관한 탐구
강지훈 ,  김태승 ,  김태민 외 3명 한국환경교육학회 학술대회 자료집 2019 .06
우리나라의 계절별 지구 온난화 출현 시기 추정
김신우 ,  정일웅 ,  변영화 한국기상학회 학술대회 논문집 2018 .10
탄산음료에서 배출되는 이산화탄소가 지구온난화에 끼치는 영향 연구
여성구 ,  김은지 ,  심재룡 외 3명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2018 .06

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-000962477