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CBr₂F₂ 플라즈마를 이용한 반도체 물질의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
c-C5F8 플라즈마를 이용한 차세대 dielectric 물질의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Etch properties of dielectric materials in C7F14 Inductively Coupled Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
PFC(Perfluorocarbon) gas 대체 precursor로써 L-FC(Liquid Fluorocarbon)의 회수 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
플라즈마 활성종 측정을 통한 낮은 지구 온난화 지수를 가진 precursor의 SiO2 식각 특성 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
식각 공정을 위한 C₄F8/O2/Ar및 C₄F8/O2/Kr플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
축전 결합형 C₄F₈/Ar 플라즈마 내에서 웨이퍼 두께에 따른 쉬스 렌즈 효과 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
L-PFC(Perfluorocarbon)계 가스의 회수 시스템에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Nano Pattern 된 Ultra Low-k Dielectric 물질에서의 C₃H₂F6를 이용한 Low Damage 식각 공정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
NF3 플라즈마 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
발광 분광 분석법 및 잔류가스 분석기를 이용한 NF₃ 플라즈마 반응성 이온 식각 장치의 실리콘 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
유도결합형 산소 플라즈마를 이용한 다공성 폴리머 필름의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
C₃H₂F₆ Isomer를 이용한 Dielectric 식각 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
낮은 GWP의 C₃H₂F6 기반 화합물의 Ultra Low-k Dielectirc 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
A Study on Adsorption and Recovery of Liquid Fluorocarbon Precursors Using Vaporization
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각의 SiO2 두께 변화 해석 모델
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
L-FC를 이용한 플라즈마 공정 중 회수 및 재사용 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
낮은 GWP를 갖는 C5F8가스를 이용한 플라즈마 공정 중 흡착 및 회수에 관한 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
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