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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제19권 제6호
발행연도
2009.1
수록면
282 - 287 (6page)

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Si(100) wafer에 증착된 박막의 조성에 따른 결정상과 자기적 특성을 평가하고자 동시 스퍼터링법을 이용하여 다양한 조성의 박막을 제조하여 그의 상변화와 자기적 특성을 평가하였다. Fe 타겟의 인가되는 출력의 변화로 NixFe100 − x (40 < x < 67)의 박막을 증착시 x < 55인 경우 BCC상으로 증착이 되었으며 300~450℃에서 2시간 열처리를 한 결과 BCC에 서 FCC로의 상전이가 일어나는 것을 관찰 할 수 있었으나, x < 50에서는 열처리 후에도 BCC와 FCC가 혼재하여 나타나는 것을 알 수 있었다. 상변화로 인해 Ms가 감소하였으나 450℃에서 열처리시 상전이가 일어나지 않은 BCC상들의 입성장 및 결정화로 다시 Ms가 증가하였다.

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