동시 스퍼터링법으로 제조된 NixFe100 − x 박막의 상변화와 자기적 특성

강대식; 송조한; 남중희; 조정호; 전명표

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자료유형: 학술저널

저자정보: 강대식 송조한 남중희 조정호 전명표

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제19권 제6호

발행연도: 2009.1

수록면: 282 - 287 (6page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

Si(100) wafer와 SiO2/Si(100) 기판에 동시 스퍼터링법으로 증착된 NiFe 합금 박 막의 상변화 및 자기적 특성

강대식 , 송종한 , 남중희 외 2명 한국결정성장학회지 2010.01 학술저널

2009

동시 스퍼터링법으로 Si(100) 및 SiO₂/Si(100) 기판에 증착된 Ni_xFe_100-x 박막의 결정상 및 자기적 특성 변화

강대식 , 남중희 , 송종한 외 2명 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 2009.12 학술대회자료

동시 스퍼터링법으로 제조된 NixFe100 − x 박막의 상변화와 자기적 특성

강대식 , 송조한 , 남중희 외 2명 한국결정성장학회지 2009.01 학술저널

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Si(100) wafer에 증착된 박막의 조성에 따른 결정상과 자기적 특성을 평가하고자 동시 스퍼터링법을 이용하여 다양한 조성의 박막을 제조하여 그의 상변화와 자기적 특성을 평가하였다. Fe 타겟의 인가되는 출력의 변화로 NixFe100 − x (40 < x < 67)의 박막을 증착시 x < 55인 경우 BCC상으로 증착이 되었으며 300~450℃에서 2시간 열처리를 한 결과 BCC에 서 FCC로의 상전이가 일어나는 것을 관찰 할 수 있었으나, x < 50에서는 열처리 후에도 BCC와 FCC가 혼재하여 나타나는 것을 알 수 있었다. 상변화로 인해 Ms가 감소하였으나 450℃에서 열처리시 상전이가 일어나지 않은 BCC상들의 입성장 및 결정화로 다시 Ms가 증가하였다.

#NiFe thin film #Soft magnetics #Phase transformation

참고문헌 (8)

참고문헌 신청

G. Dumpich / 1987 / Structural and magnetic properties of NixFe1 ? x evaporated thin films / J. Magn. Magn. Mater. 67 : 55 ~

J. Crangle / 1963 / The magnetization of face-centered cubic and body-centered cubic ironnickel alloys / Proc. Roy. Soc. A272 : 119 ~

J. Neamtu / 1996 / Hall effect in Permalloy-based thin films and magnetic multilayers / J. Mag. Mag. Mater. 157 : 461 ~

J. Yang / 1999 / Growth structure and properties of Fe rich Fe- Ni alloy films deposited on MgO(001) by dc-biased plasma-sputtering / Thin Solid Films 347 : 85 ~

J.-K. Kim / 2000 / Exchange biasing and magnetoresistance in α-Fe2O3/NiFe/Cu/NiFe spin-valves / Journal of The Korean Magnetics Society 10 (1) : 37 ~

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