지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.1
- 수록면
- 109 - 115 (7page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
Indium tin oxide (ITO) films have been prepared by DC magnetron sputtering. In order to improve the utilization efficiency of the target and reduce the cost of the film deposition processes, the powder target was used instead of the conventional ceramic target. As-deposited films were annealed at temperatures between 200 ℃ and 500 ℃ for 30 min in air. Also, the film was annealed in various atmospheres such as air, O2, H2, N2, and vacuum at 400 ℃ for 30 min. Effects of the heat treatment conditions on structural, electrical, and optical properties of ITO films were investigated. The annealing temperature of 400 ℃ and atmospheres of H2 and N2 seem to be the most suitable conditions for post processing.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (22)
참고문헌 신청
/ 1980. / Preparation of In2O3 and tin-doped In2O3 films by a novel activated reactive evaporation technique 69 : 63 ~
/ 1981. / Deposition of In2O3-SnO2 layers on glass substrates using a spraying method 77 : 67 ~
/ 1981. / Transparent heat-reflecting coatings based on highly doped semiconductors 77 : 107 ~
/ 1982. / Transparent conductive films of In2O3 Sn prepared by the pyrolysis method s. salun 92 : 327 ~
/ 1986. / Basic optical properties and applications to energy-efficient windows 60 : 123 ~
/ 1981. / Deposition of In2O3-SnO2 layers on glass substrates using a spraying method 77 : 67 ~
/ 1981. / Transparent heat-reflecting coatings based on highly doped semiconductors 77 : 107 ~
/ 1982. / Transparent conductive films of In2O3 Sn prepared by the pyrolysis method s. salun 92 : 327 ~
/ 1986. / Basic optical properties and applications to energy-efficient windows 60 : 123 ~
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
고분자 기판상에 제작된 ITO 박막의 특성 연구
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2006 .01
-
Effect of Annealing Temperature on the Properties of ITO/Au/ITO Films
한국재료학회지
2009 .01
-
저온합성법으로 제작된 ITO 박막의 열처리 분위기에 따른 전기적ㆍ광학적 특성
대한전자공학회 학술대회
2010 .11
-
DC 마그네트론 스파터링법에 의한 ITO 박막재의 전기적 기계적 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .03
-
PC 기판상에 제작된 ITO 박막의 특성
전기전자재료학회논문지
2007 .01
-
상온에서 분말타겟의 스퍼터에 의해 증착된 ITO박막
한국표면공학회지
2000 .10
-
Effects of thickness on the properties of ITO films deposited by a low-frequency magnetron sputtering
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2005 .01
-
고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ITO 박막의 표면형태 및 전기적 특성
센서학회지
2006 .01
-
Structure and Properties of Indium Tin Oxide Thin Films Sputtered from Different Target Densities
한국표면공학회지
2005 .10
-
스퍼터 ITO박막의 제조 공정 이해 및 활용
한국표면공학회지
2017 .04
-
증착조건과 진공열처리 온도에 따른 ITO/PES 박막의 특성 연구
한국재료학회지
2007 .01
-
ITO 박막의 공정변수에 따른 특성 연구
한국표면공학회지
2004 .06
-
진공 열처리에 따른 ITO 박막의 특성 변화
열처리공학회지
2013 .01
-
PET에 성막된 ITO 박막재의 작업압력에 의한 기계적ㆍ전기적 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2005 .11
-
Fabrication and characteristics of ITO thin films on CR39 substrate for transparent OTFT
센서학회지
2007 .01
-
나노인덴터에 의한 ITO / Glass 박막재의 기계적 특성
한국해양공학회지
2007 .02
-
ITO/Ni/ITO 박막의 광학적 전기적 특성 연구
한국표면공학회지
2005 .04
-
분말 타겟을 이용하여 제조한 ITO 박막의 물성에 미치는 기판온도 및 열처리 효과
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1999 .10
-
RF 마그네트론 스퍼터로 증착시킨 ITO 박막의 열화 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
-
스퍼터링에 의한 ITO 박막의 저온 증착 및 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0