PES 기판상에 증착된 AZO 박막의 특성

김상모; 김경환

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김상모 김경환

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제20권 제12호

발행연도: 2007.1

수록면: 1,072 - 1,076 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2016

FTS장치의 자계 분포에 따라 제작된 AZO 박막의 특성

김상모 , 신건엽 , 금민종 외 1명 반도체디스플레이기술학회지 2016.01 학술저널

2008

상온에서 제작된 AZO/Ag/AZO 다층박막의 두께에 따른 특성

김상모 , 김경환 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

2007

Polymer 기판상에 제작된 AZO/Ag/AZO 다층박막

김상모 , 임유승 , 금민종 외 1명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2007.01 학술대회자료

PES 기판상에 증착된 AZO 박막의 특성

김상모 , 김경환 전기전자재료학회논문지 2007.01 학술저널

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We prepared the Al doped ZnO (AZO) thin film on polyethersulfon (PES) without any substrate heating by Facing Targets Sputtering (FTS) system. FTS system has two different facing targets. One is ZnO doped the content of Al 2 wt% and the other is Zn in order to decrease resistivity. The electrical, structural and optical properties of AZO thin films were investigated. To evaluate the as-deposited thin film properties, we employed four-point probe (CMT-R100nw, Changmin), Surface profiler (Alpha-step, Tencor), UV/VIS spectrometer (HP), X-ray diffractometer (XRD, Rigaku) and Field Emission Scanning Electron Microscopy (FESEM, Hitachi S-4700). As a result, We obtained that AZO thin film deposited on PES substrate at a DC power of 150 W, working pressure of 1 mTorr and O2 gas flow ratio of 0.2 exhibited the resistivity of 4.2×10-4 [Ωcm] and the optical transmittance of about 85 % in the visible range.

#AZO #FTS #PES

참고문헌 (10)

참고문헌 신청

A. P. Roth / 1981 / Absorption edge shift in ZnO thin films at high carrier densities / Solid State Communi- cations 39 : 1269 ~

A. Y. Igasaki / 2001 / Argon gas pressure dependence of the properties of transparent conducting ZnO:Al films deposited on glass substrates / Applied Surface Science 169-170

J. S. Yang / 2003 / Preparation of trans- parent conductive thin films by facing targets sputtering system / Surface and Coatings Technology 169-170 : 575 ~

K. H. Kim / 2001 / Thin film properties by facing targets sputtering system / Applied Surface Science 169-170 : 410 ~

Kyung-Hwan Kim / 2007 / Preparation of Al doped ZnO thin films as a function of substrate temperature by a facing target sputtering system / Journal of Ceramic Processing Res

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김상모

소속기관 가천대학교 에너지나노소재연구센터

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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김경환

소속기관 가천대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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