고정입자 정반을 이용한 사파이어 래핑에 관한 연구

이태경 ,  김형재 ,  이상직 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2016 .04

고정 입자 정반을 이용한 사파이어 기판의 연마 특성 연구

이태경 ,  이상직 ,  조원석 외 2명

Tribology and Lubricants

2016 .04

사파이어 랩그라인딩 시 자유입자의 사용이 화학기계적 연마 결과에 미치는 영향

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

사파이어 웨이퍼의 양면랩그라인딩 공정에서 실리카 입자의 영향에 관한 연구

서준영 ,  김태경 ,  이현섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .04

A study on influence of lapping on a low-strength surface of sapphire

L. Li ,  D. W. Lee ,  S. J. Lee 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

래핑정반 그루브가 사파이어 기판의 재료제거율에 미치는 영향

이태경 ,  김형재 ,  조한철 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

레진 구리 정반의 구리 함량에 따른 연마특성에 관한 연구

이태경 ,  김도연

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06

연마재 작업조건에 따른 폴리우레탄 재질의 마모량 예측에 관한 연구

장영재 ,  이찬주 ,  강성욱

한국기계기술학회지

2018 .01

화학기계적 연마기술 연구개발 동향 : 입자 거동과 기판소재를 중심으로

이현섭 ,  성인하

Tribology and Lubricants

2019 .10

입자유동베드를 통한 스테인레스 표면가공에서 연마재에 따른 연마특성 연구

김태경 ,  서준영 ,  이현섭

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .05

Effect of Free Abrasives on Material Removal in Lap Grinding of Sapphire Substrate

Junyoung Seo ,  Taekyoung Kim ,  Hyunseop Lee

Tribology and Lubricants

2018 .12

랩그라인딩 후 사파이어 웨이퍼의 표면거칠기가 화학기계적 연마에 미치는 영향

서준영 ,  이현섭

Tribology and Lubricants

2019 .12

래핑 정반의 기하학적 인자가 기판의 평탄도에 미치는 영향

이태경 ,  김도연

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

마찰력 모니터링을 통한 사파이어 기판 재료제거특성에 관한 연구

조원석 ,  이상직 ,  정해도 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

자성 브러쉬의 조성변화에 따른 자기연마가공의 특성 평가

곽재섭 ,  오창호 ,  채영희 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .11

시뮬레이션을 활용한 평판연마로봇의 연마소비재에 따른 마모량 예측

김동주 ,  강성욱

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

사파이어 웨이퍼링 공정에서 랩그라인딩과 화학기계적 연마 연계 공정에 관한 연구

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .10

다수의 연마입자를 고려한 CMP 공정의 Stick-Slip 고찰

정소영 ,  성인하

Tribology and Lubricants

2018 .12

래핑 정반의 그루브 밀도에 따른 유막 두께 변화 연구

이태경 ,  이상직 ,  김도연 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05