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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1994.12
- 수록면
- 457 - 465 (9page)
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유도결합 플라즈마의 해석식으로는 양극성 확산, 정상상태를 가정한 확산식, 열평형식과 변위전류를 무시한 맥스웰 식을 사용하였다. 해석기법으로는 유한 차분법과 적분법을 축대칭 2차원(R, Z) 모델에 적용하였다. 유도결합 플라즈마장치의 RF 전력, 압력, 석영창 두께, 차폐부 높이에 따른 전자온도, 전자밀도, 등가 저항, 등가 인덕턴스, 효율, 견합계수 k, Q-factor의 변화를 구하였다. 특히 등가저항은 진공챔버, 차폐부 및 코일의 손실저항을 고려하여 구하였다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 해석 모델
3. 플라즈마 해석
4. 전자장 해석
5. 해석 결과 및 고찰
6. 결론
참고문헌
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