사파이어 CMP에서 염화칼륨이 연마율에 미치는 영향

박철진 ,  조한철 ,  이상진 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구

이현섭 ,  이다솔

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

사파이어 화학기계적 연마에서 결정 방향이 재료제거 특성에 미치는 영향

이상진 ,  이상직 ,  김형재 외 2명

Tribology and Lubricants

2017 .06

패드의 통기도에 따른 사파이어 기판 연마율에 관한 연구

박철진 ,  김형재 ,  정해도 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

CMP 공정 조건에 따른 사파이어 웨이퍼 재료제거율에 관한 연구

박상현 ,  이종찬 ,  안범상

한국트라이볼로지학회 학술대회

2016 .04

외부 전기장이 사파이어 기판의 CMP 연마 특성에 미치는 영향

박철진 ,  김형재

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

마찰력 모니터링을 통한 사파이어 기판 재료제거특성에 관한 연구

조원석 ,  이상직 ,  정해도 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

구리 CMP에서 연마 온도가 제거 속도에 미치는 영향

신영일 ,  정선호 ,  박영욱 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

사파이어 랩그라인딩 후 CMP공정에 관한 연구 : 랩그라인딩 연마액 희석비의 영향

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

고정용 지그 소재가 사파이어 날 부 칩핑에 미치는 영향

신건휘 ,  곽태수 ,  이승준 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

화학기계적 연마(CMP)에서 연마 헤드의 오실레이션 속도에 따른 상대속도 변화 해석

이지은 ,  이재욱 ,  안형주 외 5명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .06

화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증

손준규 ,  박성현 ,  이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

탄화규소(SiC)의 연마시 슬러리 온도 변화에 따른 재료제거율 향상

정호경 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

탄화규소 및 사파이어 기판을 위한 화학기계적 연마(CMP)에 관한 문헌적 고찰

김다인 ,  김혜원 ,  이현섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2021 .10

DLG 공정에서 실리카 입자크기에 따른 사파이어 기판의 연마에 미치는 영향에 관한 연구

서준영 ,  김태경 ,  이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

레이저 유도 미세 크랙이 탄화 규소 연마 공정의 재료 제거에 미치는 영향에 대한 연구

김민철 ,  방상민 ,  김동현 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

사파이어 웨이퍼링 공정에서 랩그라인딩과 화학기계적 연마 연계 공정에 관한 연구

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .10

3중 존 컨디셔너의 연마패드 해석

손준규 ,  박성현 ,  이현섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2020 .09

전해 이온화와 자외선광을 이용한 사파이어 화학기계적 연마의 재료제거 효율 향상에 관한 기초 연구

박성현 ,  이현섭

Tribology and Lubricants

2021 .12