SPV 측정법에 의한 P-형 실리콘 웨이퍼의 전자의 확산거리 결정 ( Electron Diffusion Length Determination in P-Type Silicon Wafers by Surface Photovoltage ( SPV ) Method )

김흥락 ,  류근걸 ,  서광 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

실리콘 웨이퍼의 화학반응층 분석에 관한 연구

박준민 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

DLTS 측정에 의한 접합 SOI 웨이퍼내의 결함 분석

김홍락 ,  강성건 ,  이성호 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

TRXRA를 이용한 실리콘 웨이퍼의 금속불순물 청정에 관한 연구 ( The Study of metal contamination cleaning for silicon wafer using TRXFA )

서광 ,  강성건 ,  김흥락 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

실리콘 웨이퍼 미세 표면결함의 광산란 특성 평가

하태호 ,  송준엽 ,  Takashi MIYOSHI 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

실리콘 웨이퍼 표면에서 나노 입자의 거동

이종명 ,  김태훈 ,  조성호 외 3명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2003 .01

금속 불순물 오염에 따른 실리콘 기판 및 태양전지 특성의존성 분석

백상훈 ,  이정철 ,  조준식 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2009 .06

DLTS 법에 의한 α-Fe₂ O₃ - TiO₂ 계 산화물의 전기적 특성

강희복 ,  최복길 ,  성영권

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

실리콘에서의 불순물 분포의 산출 ( Characterization of Impurity Profile in Silicon )

양영일 ,  경종민

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Temperature Measurement of Silicon Wafers Using Phase Estimation of Acoustic Wave

姜俊赫 ,  李錫垣

전기학회논문지 C

2003 .11

반도체용 실리콘 웨이퍼의 초정밀 입자 가공

이은상 ,  이정택 ,  원종구

기계저널

2010 .06

반도체용 실리콘 웨이퍼의 진동 해석 ( Vibration Analysis of a Cubic-crystalline Silicon Wafer )

조진우 ,  김진오

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

실리콘 카바이드 웨이퍼 및 소자 기술

구상모

전기의세계

2010 .02

실리콘 웨이퍼 연삭가공 특성 평가에 관한 연구

이상직 ,  정해도 ,  이은상 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

1999 .05

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

한국멀티미디어학회 학술발표논문집

2008 .05

실리콘에서의 2차원적 불순물의 분포의 산출 ( Characterization of Two-Dimensional Impurity Profile in Silicon )

양영일 ,  경종민

전자공학회논문지

1986 .11

실리콘 웨이퍼의 면저항 국제 비교

강전홍 ,  유광민 ,  이상화

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .11

실리콘 웨이퍼 상에 제작된 미소 유로에서의 유동특성 ( Flow Characteristics in a Microchannel Fabricated on a Silicon Wafer )

김형우 ,  원찬식 ,  정시영 외 1명

대한기계학회 논문집 B권

2001 .12

α-Fe2O3-TiO2계 산화물의 DLTS와 전기적 특성 ( DLTS and the electrical property of α-Fe2O3-TiO2 containing small amounts of added titanium )

강희복 ,  최복길 ,  성영권

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

웨이퍼 캐리어 내부 유동 최적화 연구

변순석 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11