고 에너지 이온빔에 의한 PECVD 질화규소막 내의 수소 이탈현상에 관한 연구

이중환 ,  이상환 ,  박민 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착

허창우

한국정보통신학회논문지

2007 .11

Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

비휘발성 기억소자용 PECVD질화막의 특성에 관한 연구

李相培 ,  李根赫 ,  徐光烈

전기학회논문지

1993 .12

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

GaAs 기판위에 PECVD로 증착된 Silicon Nitride의 특성분석

서경수 ,  최성우 ,  곽병화 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )

김진홍 ,  남철우 ,  우성일 외 1명

전자공학회논문지

1990 .07

PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )

김진홍 ,  남철우 ,  우성일 외 1명

전자공학회논문지

1990 .06

PECVD에 의해 제조된 ($Ba_{1-x}Sr_x$)TiO$_3$ 박막의 특성 및 전기적 성질

홍성의 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

ECR PECVD에 의한 상온 실리콘 질화막 형성 및 박막 트랜지스터에의 응용 ( Room Temperature Fabrication of Silicon Nitride Films by ECR PECVD and its Application to Thin Film Transistors )

전유찬 ,  이호영 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

상온에서 ECR PECVD에 의해 형성된 실리콘 산화질화막의 전기적 특성

이호영 ,  전유찬 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

PECVD를 이용하여 질화된 AISI4140의 화합물층 유무에 따른 기계적 특성 연구

정연주 ,  박현준 ,  김형순 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

Effect of deposition rates of PECVD silicon nitride films on passivation for silicon solar cells

이준성 ,  임희진 ,  권순우 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2008 .05

Thin Film Encapsulation for Flexible Electronics using Silicon Nitride deposited by PECVD

김래호 ,  윤원민 ,  김유진 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .04

PECVD을 이용한 침탄 대체 신속질화 공정 개발

박현준 ,  김준형 ,  문경일 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

아르곤 스퍼터링 방법을 이용한 PECVD 실리콘 산화막의 특성 향상

박민 ,  박종문 ,  현영철 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

열처리 조건이 PECVD $Ta_{2}O_{5}$ 박막 특성에 미치는 영향

백용구 ,  박영진 ,  김종철 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착

김상호 ,  김동원

한국표면공학회지

2002 .04

ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN박막의 특성 비교

전병혁 ,  김종석 ,  이응직 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Multi-Step 스퍼터링 PECVD에 의한 실리콘 산화막의 특성에 관한 연구

박민 ,  이중환 ,  이상환 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01