Si(200)기판의 표면 구조변화에 따른 화학적 산화막을 이용한 $CoSi_2$의 성장에 관한 연구

허진화 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 $CoSi_2$ layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구

김선일 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Co 두께가 CoSi2 에피박막 형성에 미치는 영향 ( Effects of Co Thickness on the Formation of Epitaxial CoSi2 Thin Film )

김종렬 ,  배규식

전자공학회논문지-D

1997 .01

반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 CoSi layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구

김선일 ,  이희승 ,  박종호 외 1명

한국재료학회지

2003 .01

반응성 화학기상증착법에 의해 다결정실리콘 위에 직접성장된 $CoSi_2$ 층의 열적안정성의 개선

이희승 ,  이화성 ,  안병태

한국재료학회지

2001 .01

Kinetics 수정에 의한 실리사이드의 열적 안정성 향상에 대한 연구

남형진

한국산학기술학회 논문지

2007 .10

Co/Ti 박막을 이용한 (100)Si기판위에 $CoSi_2$형성연구

이승헌 ,  신동원 ,  박찬경 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

$CoSi_2$를 확산원으로 형성한 매우 얇은 접합의 전기적 특성

구본철 ,  정연실 ,  심현상 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

RF-Sputtering법에 의한 CoSi₂/Si 박막 형성에 관한 특성

조금배 ,  이강연 ,  최연옥 외 2명

전기학회논문지

2010 .07

반응성 화학기상증착법을 이용한 에피택셜 $CoSi_2$ 박막의 형성 및 성장에 관한 연구

이화성 ,  이희승 ,  안병태

한국재료학회지

2000 .01

Co/Ti이중박막을 이용한 $CoSi_2$에피박막형성에 관한 연구

김종렬 ,  배규식 ,  박윤백 외 1명

한국재료학회지

1994 .01

코발트 폴리사이드 게이트전극 형성에 관한 연구

심현상 ,  구본철 ,  정연실 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

화학적 산화막을 이용한 epitaxial $\textrm{CoSi}_2$형성과 계면구조

신영철 ,  배철휘 ,  전형탁

한국재료학회지

1998 .01

Co/Ti 이중막을 이용한 $CoSi_2$의 형성

홍성수 ,  송진태 ,  엄우용 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Co/Ti 두께비가 $CoSi_2$ 에피박막 형성에 미치는 영향

김종렬 ,  배규식 ,  박윤백 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

염료감응형 태양전지용 코발트실리사이드들의 촉매 물성

김광배 ,  노윤영 ,  송오성

한국재료학회지

2016 .01

$CoSi_{2}$ 에피박막을 확산원으로 이용하여 형성한 매우 얇은 접합의 전기적 특성

구본철 ,  심현상 ,  정연실 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

Co/Si 다층박막에서의 고상반응에 의한 비정질상과 결정상의 생성 및 상전이

심재엽 ,  박상욱 ,  지응준 외 3명

한국재료학회지

1994 .01

Silicon field emission arrays coated with a $CoSi_2$ layer grown by reactive chemical vapor deposition

Han ,  Byung-Wook ,  Rhee 외 5명

한국정보디스플레이학회 학술대회

2000 .01

Growth of Epitaxial CoSi2 using Co / Ti / Si System

김기범 ,  윤동수 ,  백홍구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01