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저자정보
이원정 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) 김현수 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) 염근영 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) 김정훈 (서울대학교 전기공학과) 황기웅 (서울대학교 전기공학과) 백종태 (한국전자통신연구소)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 1997년도 한국재료학회 추계학술발표회
발행연도
1997.1
수록면
105 - 105 (1page)

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