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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김진용 (서울대학교 무기재료공학과) 이용의 (서울대학교 무기재료공학과) 조해석 (서울대학교 무기재료공학과) 이동현 (삼성코닝주식회사) 김영진 (경기대학교 재료공학과) 김형준 (서울대학교 무기재료공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제5권 제3호
발행연도
1995.1
수록면
280 - 287 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1995

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Al이 첨가된 ZnO 투명전도막의 전기적 특성
김진용 ,  이용의 ,  조해석 외 3명 한국재료학회지 1995.01 학술저널

1994

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제조한 투명 전극용 ZnO 박막 증착에 관한 연구
김진용 ,  이용의 ,  조해석 외 3명 대한전자공학회 학술대회 1994.01 학술대회자료

초록· 키워드

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첨가제로 $Al_{2}$$O_{3}$가 포함된 ZnO 소결체가 타깃을 이용하여 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 Al이 첨가된 ZnO박막을 증착하고, 타깃에 첨가된 $Al_{2}$$O_{3}$</TEX>의 농도와 증착시 스퍼터링장치내의 기판위치에 따른 박막의 물성 변화를 고찰하였다. 타깃의 $Al_{2}$$O_{3}$ 첨가농도가 2wt%인 경우에 비저항치 8 $\times$ $10_{-3}$ $\Omega$-cm인 박막이 증차되었다. 또한 $Al_{2}$$O_{3}$</TEX>가 2wt%이상 첨가된 경우는 모든 Al이 박막내부에서 Zn를 치환하여 전자주게로의 역할을 하지 못하고, 오히려 치환되지 못한 Al원자의 중성 불순물 산란효과에 의해 박막의 비저항이 증가하였다. 타깃의 마모영역 위에서 증착된 Al을 첨가한 ZnO 박막은 그 영역 KR에서 증착된 박막보다 높은 비저항값을 나타냈으며, 이는 큰 에너지를 가지는 산소입자의 충돌에 기인한 것으로 여겨진다.

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