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저자정보
전상원 (한국에너지기술연구원 태양전지연구센터) 이정철 (한국에너지기술연구원 태양전지연구센터) 박병옥 (경북대학교 무기재료공학과) 송진수 (한국에너지기술연구원 태양전지연구센터) 윤경훈 (한국에너지기술연구원 태양전지연구센터)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제16권 제1호
발행연도
2006.1
수록면
19 - 24 (6page)

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ZnO:Al(AZO) films prepared by rf magnetron sputtering on glass substrate and textured by post-deposition chemical etching were applied as front contact and back reflectors for ${\mu}c$-Si:H thin film solar cells. For the front transparent electrode contact, AZO films were prepared at various working pressures and substrate temperature and then were chemically etched in diluted HCl(1%). The front AZO films deposited at low working pressure(1 mTorr) and low temperature ($240^{\circ}C$) exhibited uniform and high transmittance ($\geq$80%) and excellent electrical properties. The solar cells were optimized in terms of optical and electrical properties to demonstrate a high short-circuit current.
#textured AZO #${mu}c$-Si:H #solar cell #thin film

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