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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1999.4
- 수록면
- 197 - 204 (8page)
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This paper describes the preparation of RF sputtered ZnO transparent conducting films with texture surface. which is one of the most essential requirements in thin film solar cell applications. As means of forming texture surface, we incorporated a small amount of water or methanol into the chamber. The argon pressure during sputtering changed the properties of ZnO films such as texture height as well as electrical and optical behaviors. The samples prepared at 5mTorr argon pressure showed best texture and electro-optical properties while the film's properties deteriorated in higher pressure of 25 and 50mTorr. This dependence of the sample properties on argon pressure is discussed with relation to the amount of OH radical into the films.
목차
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 및 분석방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
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