지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
탄소환원질화법을 이용하여 질화알루미늄(Aluminum Nitride: AlN)을 제조하는 연구를 실험실 규모로 수행하였다. 고품위 알루미나 분말과 탄소(carbon black)를 배합하여 흑연 도가니에 장입하고, 노내 분위기를 진공으로 한 다음 질소 가스를 흘려주어 온도($1,600{\sim}1,700^{\circ}C$), 시간(0.5~6 hr), $N_2$유량($4.7{\times}10^{-6}{\sim}20{\times}10^{-6}m^3/sec$), 장입 시료층 높이(0.5~20 mm)를 변화시키면서 AlN을 합성하였다. 실험결과, 고순도 알루미나와 탄소 혼합물을 질소 분위기의 $1600{\sim}1700^{\circ}C$ 온도 범위에서 반응시킬 때 반응 온도가 높을수록 생성된 AlN의 1차 입자 크기가 커지고, 반응 활성화 에너지는 382 kJ/mol로 화학 반응이 율속 단계로 판단되었다. 시험 제조한 AlN들의 산소 함량은 0.71~0.96 wt%였고, 질소는 30.7~35.1 wt%로서 상용 제품과 근접한 결과를 나타내었다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
H. S. Roh / 2014 / Aluminum Nitride (AlN) Powde / KISTI MARKET REPORT 4:15~18
M. Ish-Shalom / 1982 / Formation of Aluminum Oxynitride by Carbothermal Reduction of Alumina in Nitrogen / J. Mater. Sci. Lett. 1:147~149
S. Hirai / 1989 / Formation of Aluminum Nitride by Carbothermic Reduction of Alumina in a Flowing Nitrogen Atmosphere / Nipon Kinzoku Gakaishi 53:1035~1040
P. Lefort / 1985 / Sur la Formation du Niture d’Aluminium a Partir d’Alumine en Presesece de Carbon / Rev. Chim. Miner. 22:534~545
P. Lefort / 1993 / Mechanism of AlN Formation through the Carbothermal Reduction Al2O3 in a Flowing N2 Atmosphere / J. Am. Ceram. Soc. 76:2295~2299
M. Ish-Shalom / 1982 / Formation of Aluminum Oxynitride by Carbothermal Reduction of Alumina in Nitrogen / J. Mater. Sci. Lett. 1:147~149
S. Hirai / 1989 / Formation of Aluminum Nitride by Carbothermic Reduction of Alumina in a Flowing Nitrogen Atmosphere / Nipon Kinzoku Gakaishi 53:1035~1040
P. Lefort / 1985 / Sur la Formation du Niture d’Aluminium a Partir d’Alumine en Presesece de Carbon / Rev. Chim. Miner. 22:534~545
P. Lefort / 1993 / Mechanism of AlN Formation through the Carbothermal Reduction Al2O3 in a Flowing N2 Atmosphere / J. Am. Ceram. Soc. 76:2295~2299
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
탄소환원질화법에 의한 AlN 제조 규모확대 시험결과
자원리싸이클링
2016 .01
-
전기방사에 의한 섬유상 질화알루미늄 합성 및 특성 평가
전기전자재료학회논문지
2017 .07
-
펄스레이저법으로 증착 제조된 AlN박막의 타겟 효과
소성·가공
2020 .02
-
나노구조를 응용한 AlN 성장 방법 및 특성
전기전자재료학회논문지
2015 .01
-
Effects of different aluminum sources and calcination temperatures on the synthesis of ultrafine AlN powder via carbothermal reduction nitridation
Journal of Ceramic Processing Research
2017 .03
-
Atomic Layer Deposition of AlN Thin Films on GaN and Electrical Properties in AlN/GaN Heterojunction Diodes
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2020 .01
-
Dependence of Sputtering Gas Pressure on the Crystal Structure of AlN Films
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
-
SiC 기판상에 성장된 AlN 박막을 이용한 AlN 결정 성장에 관한 연구
한국결정성장학회지
2018 .01
-
고효율 파워 반도체 소자를 위한 Mg-doped AlN 에피층의 HVPE 성장
한국결정성장학회지
2017 .01
-
6H-SiC 종자 결정을 사용하여 PVT법으로 성장된 AlN 결정 연구
한국결정성장학회지
2016 .01
-
상압소결 질화알루미늄의 소결 첨가제 변화에 따른 열적 및 기계적 특성
한국분말야금학회지
2019 .01
-
직경 3인치의 AlN 단결정 성장에 관한 연구
한국결정성장학회지
2019 .01
-
합성질화알루미늄을 적용한 AlN-Cu 방열기판의 열충격 모드에서의 고장 메커니즘 분석 및 규명
한국신뢰성학회 학술대회논문집
2023 .06
-
Y2O3가 1 wt% 첨가된 AlN 세라믹의 전기절연성에 미치는 TiO2 첨가의 효과
전기전자재료학회논문지
2016 .01
-
Optimisation study for making aluminium nitride using an improved carbothermal reduction-nitridation process
Journal of Ceramic Processing Research
2017 .12
-
가스용탕반응법에 의한 Al-ALN 복합재 제조시 교반기 내의 유동장 해석
한국생산제조학회지
2020 .02
-
AlN 분말의 고에너지 밀링에 따른 소결체의 절연 특성
한국분말야금학회지
2017 .01
-
원자층 증착법을 이용한 AlN 박막의 성장 및 응용 동향
한국재료학회지
2019 .01
-
AlN with Strong Blue Emission Synthesized Through a Solventless Route
NANO
2016 .01
-
Synthesis and characterization of AlN nanopowder by the microwave assisted carbothermal reduction and nitridation (CRN)
한국결정성장학회지
2017 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0