지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
Nanocrystalline MoN coatings were prepared by inductively coupled plasma magnetron sputtering (ICPMS) changing the plasma power from 0 W to 200 W. The properties of the coatings were analyzed by x-ray diffraction, field emission scanning electron microscopy, atomic force microscopy, nanoindentation tester and semiconductor characterization system. As the ICP power increases, the crystal structure of the MoN coatings changed from a mixed phase of Υ-Mo₂N and α-Mo to a single phase Υ-Mo₂N. MoN coatings deposited by ICPMS at 200 W showed the most compact microstructure with the highest nanoindentation hardness of 27.1 GPa. The electrical resistivity of the coatings decreased from 691.6 μΩ cm to 325.9 μΩ cm as the ICP power increased.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 토론
4. 결론
References
참고문헌 (16)
참고문헌 신청
S. Y. Chun, A comparative study of TiN coatings deposited by DC and pulsed DC asymmetric bipolar sputtering, J. Kor. Inst. Surf. Eng., 44 (2011) 179-184.
S. Y. Chun, J. W. Beak, A comparative study of CrN coatings deposited by DC and asymmetric bipolar pulsed DC sputtering, J. Kor. Inst. Surf. Eng., 47 (2014) 86-92.
S. Y. Chun, S. Y. Lee, Effect of inductively coupled plasma on the microstructure, structure and mechanical properties of VN coatings, J. Kor. Inst. Surf. Eng., 49 (2016) 376-381.
C. M Natarajan, M. G Tanner, R. H Hadfield, Superconducting nanowire single-photon detectors: physics and applications, Supercond. Sci. Technol., 25 (2012) 063001.
D. K. Nandi, U. K. Sen, D. Choudhury, S. Mitra, S. K. Sarkar, Atomic layer deposited molybdenum nitride thin film: A Promising anode material for Li ion batteries, ACS Appl. Mater. Interfaces, 6 (2014) 6606-6615.
S. Y. Chun, J. W. Beak, A comparative study of CrN coatings deposited by DC and asymmetric bipolar pulsed DC sputtering, J. Kor. Inst. Surf. Eng., 47 (2014) 86-92.
S. Y. Chun, S. Y. Lee, Effect of inductively coupled plasma on the microstructure, structure and mechanical properties of VN coatings, J. Kor. Inst. Surf. Eng., 49 (2016) 376-381.
C. M Natarajan, M. G Tanner, R. H Hadfield, Superconducting nanowire single-photon detectors: physics and applications, Supercond. Sci. Technol., 25 (2012) 063001.
D. K. Nandi, U. K. Sen, D. Choudhury, S. Mitra, S. K. Sarkar, Atomic layer deposited molybdenum nitride thin film: A Promising anode material for Li ion batteries, ACS Appl. Mater. Interfaces, 6 (2014) 6606-6615.
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
H13 공구강의 전처리에 따른 Mo-Cu-N 코팅의 기계적 특성
한국표면공학회지
2020 .12
-
유도결합 플라즈마 파워가 VN 코팅막의 미세구조, 결정구조 및 기계적 특성에 미치는 영향에 관한 연구
한국표면공학회지
2016 .08
-
Mo/MoN/Mo 다층구조전극을 적용한 CIGS 박막태양전지 특성평가
한국에너지기후변화학회 학술대회
2016 .05
-
유도결합 플라즈마 파워가 NbN 코팅막의 미세구조, 결정구조 및 기계적 특성에 미치는 영향에 관한 연구
한국표면공학회지
2015 .10
-
단일 합금타겟을 이용한 마크네트론 스퍼터링 공정으로 증착된 MoN-Cu 박막
한국표면공학회지
2016 .08
-
직류 및 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 HfN 코팅막의 미세구조 및 기계적 물성연구
한국표면공학회지
2020 .04
-
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
-
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
-
Enhancement of the Corrosion Resistance of CrN Film Deposited by Inductively Coupled Plasma Magnetron Sputtering
Corrosion Science and Technology
2021 .01
-
상부 유도 결합 플라즈마에서 챔버 길이에 따른 전기적 특성 및 플라즈마 분포
전기학회논문지
2022 .08
-
유도결합형 플라즈마 마그네트론 스피터로 제작된 CrN 코팅막의 전기화학적 물성 비교 연구
한국표면공학회지
2022 .04
-
다양한 조건의 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 Mo 금속의 전기적 특성
한국재료학회지
2019 .01
-
고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
-
아르곤/이산화탄소 혼합가스의 유도 결합 플라즈마를 이용한 이산화탄소 분해 연구
KEPCO Journal on electric power and energy
2015 .01
-
Order υ Entropy and Cross Entropy of Uncertain Variables for Portfolio Selection
INTERNATIONAL JOURNAL of FUZZY LOGIC and INTELLIGENT SYSTEMS
2020 .03
-
Effects of nano-MoS2 additive on manganese phosphate composite conversion coating of carbon steel
Journal of Ceramic Processing Research
2017 .10
-
유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O5 박막 식각에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
-
대면적 유체 코팅을 위한 기계학습 기반의 블레이드 코팅 조건 최적화
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .11
-
DLC (ta-C) 후막코팅을 위한 트라이볼로지 코팅 연구
Tribology and Lubricants
2016 .08
-
Cu 첨가가 Mo-Cu-N 코팅의 미세구조와 기계적 특성에 미치는 영향
한국표면공학회지
2019 .08
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2023-581-000186149