메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정성현 (부산대학교) 김상우 (부산대학교) 이호준 (부산대)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제72권 제2호
발행연도
2023.2
수록면
228 - 233 (6page)
DOI
10.5370/KIEE.2023.72.2.228

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
As a solution to the limitations of semiconductor miniaturization and multilayer technology, Atomic Layer Deposition(ALD) and Atomic Layer Etching(ALE) technologies are attracting attentions. For ALD and ALE process technologies, temperature uniformity is an important factor in determining the film quality of thin films and aspect ratio. Conventionally, an indirect heating method by a buried heater that heats the substrate is used, but the method has a decrease in productivity due to the preheating process. This study introduce a direct wafer heating method using GHz band microwaves to suggest the direction for new heater equipment to solve the problems of the existing method. At atmospheric pressure, the 2.45 GHz microwave is radiated through a double-slot antenna to heat a 12inch silicon wafer. The microwave propagates through the waveguide in TE10 mode and heats the wafer by cavity heating. It was confirmed through simulations and experiments that the wafer can be heated quickly using microwaves and the temperature distribution can be made uniform by the cavity conversion.
#Microwave Heating #Double-Slot Antenna #Cavity Mode Conversion #Uniform Wafer Temperature Distribution

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
References

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

높은 파지력을 가지며 촉감을 전달할 수 있는 유연한 글러브
정용준 ,  김종인 ,  전형석 외 2명 제어로봇시스템학회 논문지 2016 .12
Analysis of Voltage-Current Sensor Characteristics under Changes in RF Plasma Load Impedance
Jonghoon Oh ,  Ogyun Seok ,  Ho-Jun Lee 대한전기학회 학술대회 논문집 2024 .10
유체 시뮬레이션을 통한 O₂를 추가한 Ar/CF₄ 플라즈마 분석
왕태희 ,  정성현 ,  이호준 전기학회논문지 2023 .10

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2023-560-000385394