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DNN을 이용한 CMP 패드 컨디셔닝에서의 패드 마모 프로파일 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
컨디셔닝 공정에서 컨디셔닝 디스크의 내경 변화에 따른 CMP 패드 마모에 대한 시뮬레이션
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
CMP 컨디셔닝 시스템 설계변수에 따른 패드 마모 프로파일 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2021 .10
CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
이중 분할 컨디셔너를 이용한 CMP 연마패드 수명 향상에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2021 .04
CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
CMP 패드의 그루브 두께 프로파일 측정 방법에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
Investigation of Heat Conditioning Method for CMP Pad
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .04
CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
CMP 연마패드 프로파일 형상 제어
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
스윙암 CMP 컨디셔닝 시스템의 설계변수 최적화 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
구조화된 표면을 가지는 CMP 연마 패드의 표면 특성이 재료제거율에 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
Common-path Optical Interferometry for On-site Measurement of CMP Pad Surface
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
구조화된 패드의 표면 제어를 통한 세리아 CMP 성능 향상
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
패드 마모 균일성 향상을 위한 CMP 컨디셔닝 시스템 설계 변수 연구
Tribology and Lubricants
2022 .02
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