급속 열처리시 실리콘 웨이퍼의 온도분포와 슬립 현상의 해석 ( Analysis of Temperature Distribution and Slip in Rapid Thermal Processing )

이혁 ,  유영돈 ,  엄윤용 외 2명

대한기계학회 논문집

1992 .04

슬립현상을 최소화 하기위한 급속열처리

권경섭 ,  이범학 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

슬립현상을 최소화하기 위한 급속 열처리 ( Rapid Thermal Annealing to Minimize Slip )

권경섭 ,  이범학 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

실리콘 웨이퍼의 화학반응층 분석에 관한 연구

박준민 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )

유영돈 ,  신현동 ,  김문언

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )

유영돈 ,  신현동 ,  김문언

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

실리콘 웨이퍼 미세 표면결함의 광산란 특성 평가

하태호 ,  송준엽 ,  Takashi MIYOSHI 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

반도체용 실리콘 웨이퍼의 초정밀 입자 가공

이은상 ,  이정택 ,  원종구

기계저널

2010 .06

실리콘 카바이드 웨이퍼 및 소자 기술

구상모

전기의세계

2010 .02

변단면 주탑 2기의 동시 시공을 위한 슬립폼 시스템 목업 실험

윤혜진 ,  진원종 ,  김희석 외 1명

대한토목학회 학술대회

2014 .10

급속 열처리 시스템 제작 및 실리콘 산화막 성장 ( Fabrication of Rapid Thermal Process System and Silicon Oxidation )

곽윤은 ,  김성수 ,  김대환 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

실리콘 잉곳 및 웨이퍼의 강도 개선을 통한 신뢰성 향상

한송희 ,  이주호

한국신뢰성학회 학술대회논문집

2019 .05

급속열처리와 엑시머 레이저에 의해 형성된 다결정 실리콘 박막에서 열처리 방법에 따른 박막의 특성변화

이창우 ,  고민경 ,  우상록 외 4명

한국재료학회지

1997 .01

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

한국멀티미디어학회 학술발표논문집

2008 .05

반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법

이동희 ,  이창호 ,  최승현 외 2명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

열처리와 분석을 중심으로

이창성

안전21

2002 .01

웨이퍼 가공기의 진동해석 및 실험적 검증

김명업 ,  임경화 ,  이종원

대한기계학회 춘추학술대회

1990 .01

급속 열처리 시스템의 개발 및 응용 ( Development and Application of Rapid Thermal Process System )

김윤태 ,  정기로 ,  김호영 외 2명

전자공학회논문지

1988 .09

급속 열처리 시스템의 개발 및 응용 ( Development & Application of rapid thermal process system )

김윤태 ,  정기로 ,  김호영 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11