RF reactive magnetron sputtering으로 제조한 TiO 박막의 구조 및 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재천 외 4명

한국재료학회지

2002 .01

DC Magnetron Sputtering에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성

표재확 ,  연충규 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

Effects of sputtering gas on the film structure and mechanical properties for the preparation of CNx films by reactive sputtering

Tomoyasu Shi ,  oya ,  Yukihi 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Influence of sputtering parameter on the properties of silver-doped zinc oxide sputtered films

S. H. Jeong ,  S.B.Lee ,  J.-H. Boo

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

폴리카보네이트에서의 표면개질 조건과 DC-Bias Sputtering 증착에 따른 Cu 밀착성

배길상 ,  엄준선 ,  이인선 외 3명

한국표면공학회지

2004 .02

An Optimized Metal Contact Etch Process Enhancing The Step Coverage of Sputtered Metal Films

Sang Wook Kim ,  Ik Seok Seo ,  Dong Suk Kim 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

High Thickness Aluminum Sputtering공정에서 발생되는 Whisker 제어에 대한 연구

김민종 ,  정지호 ,  김영대 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2011 .06

Advanced Treatment for Drinking Water Resource by the Ultra Rapid Coagulation Process (Korea)

Tai Il Yoon ,  Chang Gyun Kim ,  Jung Soo Pa 외 1명

Environmental Engineering Research

2003 .02

Tribological performance of a sputtered MoS₂ film having an oxidized surface layer

M. Suzuki ,  S. Shimizu

한국트라이볼로지학회 학술대회

2002 .10

Characteristics of directly sputtered AI cathode film using twin target sputtering system for OLEDs

Moon ,  Jong-Min ,  Lee 외 3명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2007 .01

스퍼터링을 이용한 바나듐 합금 박막화에 관한 연구

윤용호 ,  정지훈

화학공학

2016 .01

Effects of Sputter Parameters on Electrochromic Properties of Tungsten Oxide Thin Films Grown by RF Sputtering

Nah ,  Yoon-Chae

한국재료학회지

2011 .01

A Study on the properties of aluminum nitride films on the Al7075 deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering

Jung-hyo Kim ,  Byung-Chul Cha ,  Keun-Hak Lee 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

스퍼터 증착된 Zinc Tin Oxide 박막 트랜지스터의 공정 압력에 따른 특성 연구

이홍우 ,  양봉섭 ,  오승하 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

THE EFFECT OF AN APPLIED BIAS UPON THE REFLECTANCE AND ADHESION OF SILVER FILMS BEING SPUTTER-DEPOSITED ON POLYESTER SUBSTRATE

RI Eui-Jae ,  HOANG Tae-Su

한국표면공학회지

1999 .06

기판 및 열처리 온도에 따른 SrWO₄:Dy³⁺, Eu³⁺ 형광체 박막의 특성

김정윤 ,  조신호

한국재료학회지

2016 .01

Effect of Additional Coil Current on Crystallinity of Sputter Deposited AIN Film

Eungsun Byon ,  Gun-Hwan Lee ,  Dimit 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

PLANAR MAGNETRON SPUTTERING FOR ALUMINUM METALLIZATION

Y. H. Pa ,  k ,  E. Dema 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06