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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2004도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2004.4
수록면
1,534 - 1,539 (6page)

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The objective of this study is to simulate the etching characteristics with oscillation angle for the optimization of etching system. The etching characteristics were analyzed under different etching conditions. The spray characteristics were measured by Phase Doppler Anemometer (PDA). The correlation between the spray characteristics and the etching characteristics was investigated and used for fundamental data to simulate the etching characteristics with oscillation angle. The smaller coefficient of variation, the more uniform etching characteristic distribution became. It was found that numerical predictions of etching factor generally agreed well with the measured results with distance from nozzle tip. Oscillation leads to decrease of etching factor and increase of uniformity.
#Spray Characteristics(분무특성) #Etching Factor(애칭계수) #Oscillation Angle(요동각) #PDA(위상 도플러 입자분석기) #Coefficient of Variation(변이계수)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

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