Silicon Micromachining

M. Esashi

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Dry Release Process of HF Gas-Phase Etching for the Fabrication of Surface Micromachined Polysilicon Actuators

Jong Hyun Lee ,  Won Ick Jang ,  Yong Il Lee 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

A New Micromachining Technology Using ( 111 ) Silicon

Sang Woo Lee ,  Sang Jun Pa ,  k 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Microelectromechanical-systems-based parametric transmitting array in air -Application to the ultrasonic ranging transducer with high directionality

Haksue Lee ,  Daesil Kang ,  Wonkyu Moon

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

Experimental Comparison of Various Slow-wave structures for V-Band Application using Surface Micromachining Technology

Baek-Seok Ko ,  Han-Shin Lee ,  Tae-Jong Baek 외 8명

ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications

2004 .07

Chemical etching을 이용한 W probe shape 결정

김선경 ,  유상용 ,  김석 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

A Study on the Fabrication of Micro Groove on Si Wafer using Chemical Mechanical Machining

Junmin Pa ,  k ,  Haedo Jeong

Journal of Mechanical Science and Technology

2005 .11

Micromachining 기술을 이용한 초소형 자기공명센서 구조 연구

고중규 ,  김경석 ,  안진호

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

통계적 기법을 이용한 에칭공정의 시뮬레이션

정흥철 ,  정지원 ,  최경민 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .11

Micromachining Characteristics of Sacrificial Oxides by Anhydrous HF Gas Phase Etching

W. I. Jang ,  Y. I. Lee ,  C. S. Lee 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

The Fabrication of Megasonic Agitated Module (MAM) for the Improved Characteristics of Wet Etching

Tae Gyu Pa ,  k ,  Sang Sik Yang 외 1명

Journal of Electrical Engineering & Technology

2008 .06

Real-time detection of focal position for high precision laser micromachining

Binh Xuan Cao ,  Phuong Hoang ,  Sanghoon Ahn 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

물리·화학적 혼합 식각 공정에 의해 제조된 알루미노실리케이트 유리의 표면 형상과 광학 특성

김남혁 ,  손정일 ,  김광수

한국재료학회지

2017 .01

액상에서의 엑시머 레이저 실리콘 미세가공

장덕석 ,  김동식

한국레이저가공학회지

2008 .01

레이저 식각을 이용한 광투과성 소재의 미세가공

백병선 ,  이종길 ,  김헌영 외 1명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2002 .10

자성 박막의 습식 식각 특성

정지원 ,  변요한

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Surface Micromachined Pressure Sensor with Internal Substrate Vacuum Cavity

Chang Han Je and 3 othe ,  s

[ETRI] ETRI Journal

2016 .08

미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구

정지원 ,  김덕줄

대한기계학회 논문집 B권

2004 .01