Reactive Sputtering 법으로 제조된 Tungsten Nitride 박막의 열적 안정성 및 전기저항

이기선 ,  이병학 ,  손동균

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

반응성 스퍼터링방법으로 증착된 Ta-N 박막의 미세구조 분석

민경훈 ,  김기범

한국표면공학회지

1994 .10

Hard Coating 응용을 위한 DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 증착한 TiN 박막의 특성에 대한 연구

김영렬 ,  박용섭 ,  최원석 외 1명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

반응성 스퍼터링에서 산화 티타늄 박막의 성장 특성

이필홍 ,  고경현 ,  안재환 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Reactive Sputtering 으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성

송태섭 ,  김기완

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

Reactive Sputtering으로 제조한 TiN 박막의 전기적 특성 ( The Electrical Charateristics of TiN thin Films By Reactive Sputtering )

송태섭 ,  김기완

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

DC Magnetron Sputtering 법으로 성장된 TiN 박막의 미세구조 특성평가

김경원 ,  이태권 ,  김호정 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2004 .01

REACTIVE SPUTTER DEPOSITION OF TITANIUM NITRIDE FILMS

David J. Ha ,  a

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

반응성 마그네트론 스퍼터링법에 의한 보론카바이드 박막의 제조

이광은 ,  이정영 ,  박명진 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

반응성 스트터링에서 방전특성과 TiN 박막의 물성특성의 상관 관계 연구

朴正后 ,  金光和 ,  河弘周 외 3명

전기학회논문지

1993 .08

DC 스퍼터링과 HIPIMS로 제조한 TiN 박막의 특성 비교

변인섭 ,  양지훈 ,  정재훈 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .11

HiPIMS와 DC 스퍼터링으로 제조한 TiN 박막 특성

양지훈 ,  변인섭 ,  김성환 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

Thin film structure of aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering

최대한 ,  장호성 ,  최비공 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

DC 스퍼터링을 이용한 시간 변수에 따른 Mo박막의 구조적 특성

김한울 ,  양현훈 ,  이창권 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

스퍼터링 증착조건이 TiN막의 마모특성에 미치는 영향 ( The Effect of Sputtering Deposition Conditions on Tribological Characteristics of TiN films )

류준옥 ,  유재욱 ,  임대순

Tribology and Lubricants

1995 .03

스퍼터링으로 증착한 Fe-N 박막의 구조 및 자성 특성에 관한 연구

권아람 ,  김연주 ,  한동원 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

고밀도 플라즈마 반응성 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 TiNx 박막의 특성 연구

김정혁 ,  박지봉 ,  김정곤 외 3명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2011 .05

DC마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 TiN박막의 밀착력과 내마모성에 관한 연구

유정광 ,  김선규 ,  이건환 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1995 .10

스퍼터링 파워 변화에 따른 CdS 박막의 구조 및 광학적 특성

안은솔 ,  황동현 ,  안정훈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11