( 111 ) 기판의 실리콘 단결정층 성장시 발생하는 패턴 이동 현상의 분석 ( An Analysis of Pattern Shift in the Epitaxial Growth of Silicon on ( 111 ) Substrates )

백문철; 조경익; 송성해

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자료유형: 학술저널

저자정보: 백문철 조경익 송성해

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회지 전자공학회지 제21권 제4호

발행연도: 1984.7

수록면: 17 - 23 (7page)

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