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Cl2 / Ar 가스 플라즈마에 O2 첨가에 따른 Pt 식각 특성 연구 ( The Study on the Etching Characteristics of Pt Thin Film by O2 Addition to Cl2 / Ar Gas Plasma )
전자공학회논문지-D
1999 .05
유도결합형 플라즈마를 이용한 백금 박막 식각 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
ZnO 박막의 청색 $Cl_2/Ar$플라즈마 식각
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
유도 결합 플라즈마를 이용한 백금 박막의 식각시 O₂ 가스 첨가 효과
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .11
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
전기전자재료학회논문지
2002 .01
$Cl_2/O_2$ 유도결합형 플라즈마 특성 및 실리콘 식각에의 응용
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
N₂ 가스를 첨가한 Cl₂/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막의 식각 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .10
유도결합형 플라즈마를 이용한 Ta 식각 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
CF4/Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
유도결합형 BCl3/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각 특성
전기전자재료학회논문지
2011 .01
Cl₂/HBr,Cl₂/N₂ 평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 식각 공정시 발생하는 결함의 거동에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
Ar/CF4/Cl2 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 특성 연구
전기전자재료학회논문지
2002 .01
Ar/Cl2 혼합가스를 이용한 Ba_2Ti_9O_20(BTO) 박막의 유도결합 플라즈마 식각
전기전자재료학회논문지
2011 .01
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
Inductively Coupled Plasma Etcher를 이용한 Pt 박막의 식각 ( Inductively Coupled Plasma Etching of Pt Thin Films )
대한전자공학회 학술대회
1996 .07
Cl₂ 유도결합 플라즈마를 이용한 SBT 박막의 식각특성
전기학회논문지 C
2001 .05
CF₄/Cl₂/Ar 고밀도 플라즈마를 이용한 PZT 박막의 식각 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
유도결합형 플라즈마에서 압력에 따른 Ar Gas의 특성분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각
전기전자재료학회논문지
2009 .01
유도 결합 BCI3 / CI2 플라즈마내에서 Pt 박막의 건식 식각 ( Dry Etching of Pt Thin Film in Inductive Coupled BCI3 / CI2 Plasmas )
대한전자공학회 학술대회
1998 .07
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