Cl2 / Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N2 가스 첨가 효과 ( The Effect of Additive N2 Gas In Pt Film Etching Using Inductively Coupled Cl2 / Ar Plasmas )

유재흥 ,  김남훈 ,  장의구 외 1명

전자공학회논문지-SD

2000 .07

N₂ 가스를 첨가한 Cl₂/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막의 식각 특성

허경무 ,  박정수 ,  주영희 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 2명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Ar/CF4/Cl2 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 특성 연구

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 1명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

CF₄/Cl₂/Ar 고밀도 플라즈마를 이용한 PZT 박막의 식각 특성에 관한 연구

강명구 ,  김경태 ,  김태형 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

BCl₃/Ar 플라즈마에 Cl₂ 가스 첨가에 따른 TiN 박막의 식각 특성

엄두승 ,  우종창 ,  김동표 외 1명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

CF4/Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성

장윤성 ,  김동표 ,  김창일 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각

양설 ,  엄두승 ,  송상헌 외 2명

전기전자재료학회논문지

2009 .01

Etching characteristics of BST thin films using BCl₃/Cl₂/Ar plasma

Gwan-Ha Kim ,  Dong-Pyo Kim ,  Chang-Il Kim 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .10

Ar/Cl₂ 중성빔 식각에 의한 GaAs의 식각손상의 감소에 대한 고찰

민경석 ,  박병재 ,  이형철 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

ICP를 이용한 Ar/Cl₂/BCl₃ 플라즈마에서 PZT 식각 특성

안태현 ,  김경태 ,  이영희 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

유도결합형 BCl3/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각 특성

김용근 ,  권광호

전기전자재료학회논문지

2011 .01

Ar/Cl2 혼합가스를 이용한 Ba_2Ti_9O_20(BTO) 박막의 유도결합 플라즈마 식각

김용근 ,  이현우 ,  권광호

전기전자재료학회논문지

2011 .01

Metal 게이트 전극을 위한 TiN 박막의 건식 식각 특성

엄두승 ,  우종창 ,  박정수 외 1명

한국표면공학회지

2009 .08

F₂/Ar과 F₂/Ar/N₂ 리모트 플라즈마 산화막 식각에 대한 NO를 첨가효과

윤영배 ,  김덕진 ,  이내응 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

Cl₂/Ar 혼합가스를 이용한 VO₂ 박막의 유도결합 플라즈마 식각

정희성 ,  김성일 ,  권광호

전기전자재료학회논문지

2008 .01

$Cl_2/O_2$ 유도결합형 플라즈마 특성 및 실리콘 식각에의 응용

김현수 ,  이주훈 ,  오경희 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Cl₂/Ar gas mixture 중성빔을 이용한 블록공중합체 식각 연구

윤덕현 ,  김경남 ,  성다인 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

ZnO 박막의 청색 $Cl_2/Ar$플라즈마 식각

박진수 ,  한윤봉 ,  이규철

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Cl-based 플라즈마에 의한 YMnO3 박막의 식각 damage에 관한 연구

박재화 ,  김경태 ,  김동표 외 2명

전기전자재료학회논문지

2003 .01