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CF4/Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
전기전자재료학회논문지
2002 .01
고밀도 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 메커니즘 연구
전자공학회논문지-SD
2001 .12
CF₄/Cl₂/Ar 고밀도 플라즈마를 이용한 PZT 박막의 식각 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
Cl2/CF4/Ar 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상
전기전자재료학회논문지
2002 .01
Etching Characteristics of Au Thin Films using Inductively Coupled Cf4/Cl2/Ar Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2003 .01
Cl-based 플라즈마에 의한 YMnO3 박막의 식각 damage에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2003 .01
Cl2 / Ar 가스 플라즈마에 O2 첨가에 따른 Pt 식각 특성 연구 ( The Study on the Etching Characteristics of Pt Thin Film by O2 Addition to Cl2 / Ar Gas Plasma )
전자공학회논문지-D
1999 .05
Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각
전기전자재료학회논문지
2009 .01
Etching Characteristics of YMnO3 Thin Films in Cl Based Industively Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2003 .01
Metal 게이트 전극을 위한 TiN 박막의 건식 식각 특성
한국표면공학회지
2009 .08
Cl2 / Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N2 가스 첨가 효과 ( The Effect of Additive N2 Gas In Pt Film Etching Using Inductively Coupled Cl2 / Ar Plasmas )
전자공학회논문지-SD
2000 .07
SiC/ $Si_{3}N_{4}$ 복합재료의 $O_{2}/Cl_{2}$분위기에서의 고온 부식거동
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
기판 온도에 따른 Cl₂/BCl₃/Ar 플라즈마에서 ZrO₂ 박막의 건식 식각
한국표면공학회지
2009 .12
ZnO 박막의 청색 $Cl_2/Ar$플라즈마 식각
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
N₂ 가스를 첨가한 Cl₂/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막의 식각 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .10
Ar/Cl₂ 중성빔 식각에 의한 GaAs의 식각손상의 감소에 대한 고찰
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
Cl₂/Ar 혼합가스를 이용한 VO₂ 박막의 유도결합 플라즈마 식각
전기전자재료학회논문지
2008 .01
Cl₂/Ar gas mixture 중성빔을 이용한 블록공중합체 식각 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
Etching characteristics of BST thin films using BCl₃/Cl₂/Ar plasma
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .10
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