이중분무에서 분무특성과 에칭특성의 상호상관

정지원; 김영진; 김덕줄

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정지원 김영진 김덕줄

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제28권 제4호

발행연도: 2004.4

수록면: 449 - 455 (7page)

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The objective of this study is to obtain the correlation between the spray characteristics and the etching characteristics for the optimization of etching system in the micro fabrication industry. The etching characteristics such as etching rate were measured under different conditions. The single spray characteristics such as droplet size and velocity were measured by POA system. These were compared to the etching characteristics. The twin spray characteristics in the overlap region were analyzed to predict the effect of them on the etching characteristics with the pitch and also were compared to the single spray. The etching rate was increased in case of high spray pressure and in the region of spray center. It was found that the etching characteristics could be correlated with the single spray characteristics and the twin spray characteristics were correlated with the etching characteristics.

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[학술지(정기간행물)] - / 2002 / Spray Structures and Vaporizing Characteristics of a GDI Fuel Spray 16 (7) : 999 ~ 1008

[학술지(정기간행물)] - / 2003 / Experimental Investigation of Droplet Dynamics and Heat Transfer in Spray Cooling 27 : 829 ~ 838

[학술지(정기간행물)] - / 2002 / Simulation of the Spray Coating Process Using a Pneumatic Atomizer

[학술지(정기간행물)] - / 1998 / Drop Size and Velocity Measurement in an Electrostatic Producted Hydrocarbon Spray 120 : 580 ~ 585

[학술지(정기간행물)] - / 2000 / Effects of Formulation on Spray Nozzle Performance for Applications from Ground-Based Boom Sprayers : 609 ~ 615

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소속기관 Nanyang Technological University

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