습식 에칭공정에서 노즐 형상에 따른 분무특성 분석을 통한 에칭특성의 향상에 관한 연구

정지원; 김덕줄

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정지원 김덕줄

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제28권 제7호

발행연도: 2004.7

수록면: 842 - 849 (8page)

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The Objective of this work is to study the improvement of etching characteristics in wet etching process The etching characteristics such as etching factor were Investigated under different etching conditions and compared with the spray characteristics The spray characteristics of nozzle with different geometries such as swirler angle and swirl chamber aspect ratio were analyzed by using PDA system to predict the effect of the spray characteristics on the etching factor. The swirler angles were 495°, 63° and 76.5°. The Swirl chamber aspect ratios were 12, 1.6 and 2.0 It was found that the etching factor was correlated with the spray characteristics and also the smaller swirler angle, the larger etching factor became.

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