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고에너지 자기이온주입된 씰리콘의 결함거동
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
실리콘 식각 및 열처리에 따른 오염과 격자결함 변화에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
실리콘 나노선의 표면전하 거동연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Penning 방전을 이용한 실리콘 CVD
Applied Science and Convergence Technology
1996 .03
원자힘 현미경으로 측정된 리튬화 실리콘 나노선의 나노기계적 성질
Applied Science and Convergence Technology
2011 .11
질소 플라즈마를 이용한 실리콘 질화막의 제작 및 실리콘 질화막과 실리콘구조의 계면분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
RIE기반 저결함 결정질실리콘 표면 Texturing패턴 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
PECVD 를 이용한 비정질 실리콘 박막의 Adhesion 개선에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
양성자 주입된 실리콘 반도체소자내의 깊은준위 결함분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
실리콘 나노튜브에 관한 분자동력학 연구
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
이온빔 주입에 의한 실리콘 산화막 내의 실리콘 나노결정 형성 및 PL특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
고에너지 B 이온주입에 의해 형성된 결함의 열처리 거동특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
고효율 패시베이티드 컨택 실리콘 태양전지에서의 폴리실리콘 박막에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
고밀도 플라즈마 환경에서의 실리콘 부품 고장 분석
한국분석과학회 학술대회
2016 .11
실리콘 옥사이드와 실리콘 나이트라이드 다층 박막에서의 실리콘 나노 클러스터와 어븀의 상호작용 거리에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
절연체(CeO₂ / Si)위에 성장된 실리콘 박막의 특성 연구
Applied Science and Convergence Technology
1999 .08
플라즈마 이온 식각 공정을 이용한 피라미드 구조의 결정질 실리콘 태양전지 텍스쳐링
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
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