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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제30회 학술논문발표회 초록집
발행연도
2006.2
수록면
138 - 138 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

Low Angle Forward Reflected Neutral Beam Etching을 이용한 Aspect Ratio Dependent Etching 현상의 제거
민경석 ,  박병재 ,  염근영 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2006.07 학술저널
Low-Angle Forward Reflected 중성빔식각을 이용한 Aspect-Ratio-Dependent Etching 현상 제거
민경석 ,  박병재 ,  염근영 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2006.02 학술대회자료

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