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나노소자 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam에서의 reflector 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
SiO₂ 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam 식각 system에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
Low-angle forward-reflected neutral beam을 이용한 표면처리 효과 및 절연특성 향상 방안 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Low Angle Forward Reflected Neutral Beam Etching System을 이용한 High Flux, Low Energy 중성빔의 형성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
Low angle forward reflection 중성빔 식각 장비를 이용한 high-k 유전체 물질의 식각 특성 관찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
Low-Angle Forward Reflected 중성빔식각을 이용한 Aspect-Ratio-Dependent Etching 현상 제거
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Ar neutral beam을 이용한 ZrO₂ 원자 층 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Formation of Neutral Beam by Low Angle Reflection
Journal of Korean Vacuum Science & Technology
2003 .06
Low-Angle Forward-Reflected Neutral Beam Etching을 이용한 SOI (silicon on insulator) wafer의 표면조도 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
Effect of the Neutral Beam Energy on Low Temperature Silicon Oxide Thin Film Grown by Neutral Beam Assisted Chemical Vapor Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
나노 바이오 소자 제작을 위한 나노 구조물 형성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Plasma 시스템을 이용한 MoS2 나노박막의 합성 및 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
건식식각으로 형성된 나노구조물과 이를 활용한 OLED소자의 광추출효율 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
나노갭 소자를 이용한 금속 나노입자 검출
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
나노갭 소자를 이용한 단백질의 정량 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
펄스 플라즈마 식각을 통한 실리콘 나노구조의 식각 특성 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Influence of Neutral Particle Beam Energy on the Structural Properties of Amorphous Carbon Films Prepared by Neutral Particle Beam Assisted Sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
중성빔 식각과 중성빔 원자층 식각기술을 이용한 TiN/HfO2 layer gate stack structure의 저 손상 식각공정 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
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