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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제24회 학술발표회초록집
발행연도
2003.2
수록면
134 - 134 (1page)

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2003

Source / drain 형성 시 초 저에너지로 B 이온 주입된 실리콘의 activation - deactivation 현상
김은석 ,  류승욱 ,  노재상 한국진공학회 학술발표회초록집 2003.02 학술대회자료
Source/drain 형성 시 초 저에너지로 B 이온 주입된 실리콘의 열처리온도 및 시간에 따르는 activation-deactivation 현상
김은석 ,  김대섭 ,  노재상 한국재료학회 학술발표대회 2003.01 학술대회자료

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