초 저 에너지 이온주입으로 고 조사량 B 이온 주입된 실리콘의 Deactivation 현상

유승한 ,  노재상

한국재료학회지

2003 .01

고에너지 이온빔이 주입된 고분자의 물성연구

박성규 ,  이상윤 ,  주진수 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .04

이온 주입 기술 현황

김종국 ,  이구현 ,  이상로

기계와 재료

2001 .01

고에너지 이온주입에 의한 Retrograde Triple well 형성에 관한 연구

김은석 ,  김동민 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

폐슬러지 실리콘을 이용한 마이크론 크기의 이산화 실리콘 구형입자 제조

한길진 ,  김영철 ,  장영철 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

고에너지 이온주입에 따른 격자 결함 발생 및 거동에 관한 열처리 최적화방안에 관한 연구

송영두 ,  곽계달

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

전기로를 이용한 이온주입 실리콘의 재결정화 및 활성화

가순식 ,  유화숙 ,  김영철 외 4명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2006 .01

SIMS를 이용한 BF2+ 이온주입된 실리콘에서의 불순물 재분포에 대한 연구

이대훈 ,  손용선 ,  이순영 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1988 .01

Deactivation of Porous Photocatalytic Particles During a Wastewater Treatment Process

Cho ,  Young-Sang ,  Nam 외 1명

화학공학

2019 .01

이온 주입과 엑시머 레이저 조사에 의해 동시에 제작된 실리콘 산화막과 다결정 실리콘 박막

김천홍 ,  박철민 ,  전재홍 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

실리콘에서 깊은 접합의 형성을 위한 알루미늄의 확산 모델

정원채

전기전자재료학회논문지

2020 .01

급속 열처리 ( RTA ) 에 의한 실리콘 이온주입 갈륨 비소의 활성화 특성에 관한 연구 ( A study on the activation characteristics of silicon ion implanted GaAs by RTA )

심규환 ,  편광의 ,  박형무 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

실리콘 박막에서 이온 질량 도핑에 의해 주입된 인의 전기적 활성화에 관한 연구 ( A Study on the Electrical Activation of Ion Mass Doped Phosphorous on Silicon Films )

김진호 ,  주승기 ,  최덕균

전자공학회논문지-A

1995 .01

열처리와 분석을 중심으로

이창성

안전21

2002 .01

이온주입 특성 개선을 위한 분자동역학적 연구

양영준 ,  이치우

에너지공학

2009 .06

선택 실리콘 증착에 의해 제조된 Raised Source / Drain MOSFET의 전기적 특성 ( Electrical Characteristics of Raised Source / Drain MOSFET fabricated by Selective Silicon Deposition )

김영옥 ,  박순오 ,  이내인 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

급속열처리시 실리콘 웨이퍼에 발생하는 슬립 현상의 해석

이혁 ,  엄윤용

대한기계학회 춘추학술대회

1990 .01

A$s^+$이온을 주입시킨 Si 표면부 미세구조와 특성

신동원 ,  최철 ,  박찬경 외 1명

한국재료학회지

1992 .01

실리콘 웨이퍼의 이온주입각 변화에 의한 이온반사율에 관한 연구

姜龍哲 ,  李愚宣 ,  朴榮俊

전기학회논문지

1991 .06