Source / drain 형성 시 초 저에너지로 B 이온 주입된 실리콘의 activation - deactivation 현상

김은석 ,  류승욱 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

고에너지 B 이온주입에 의해 형성된 결함의 열처리 거동특성

김국진 ,  박세일 ,  유광민 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

이온채널링분석을 이용한 이온주입 및 열처리 과정에서의 결정결함의 연구

이상환 ,  김광일 ,  권오준 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

이온빔 주입에 의한 실리콘 산화막 내의 실리콘 나노결정 형성 및 PL특성 연구

최한우 ,  우형주 ,  김준곤 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

B10H₁₄ 이온 주입을 통한 ultra - shallow p+ - n junction 형성 및 전기적 특성

송재훈 ,  김지수 ,  임성일 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2002 .09

이온주입된 다결정박막 실리콘의 열처리 시 reverse annealling에 대한 연구

임정윤 ,  김보경 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

이온주입 및 열처리 조건에 따른 인 도핑 에미터의 전기적 특성평가

박효민 ,  박성은 ,  김영도 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

결정화된 실리콘 막질에 미치는 고온 열처리 효과

진원화 ,  이재갑

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

이온 주입에 의한 PET막의 표면경도변화 및 광 투과도 변화

박재원 ,  이재형 ,  이재상 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .07

이온주입법으로 생성한 실리콘나노입자의 PL 감쇠특성

김준곤 ,  우형주 ,  최한우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

이온주입 된 다결정 실리콘 박막의 Reverse Annealing 거동

임정윤 ,  김윤수 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

이온 주입 후 열처리 방법에 따른 도펀트 활성화 및 결함 회복에 관한 연구

진법종 ,  이주열 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

As 이온이 주입된 단결정 실리콘(100)의 전기적 활성화 연구

이동건 ,  문영희 ,  손정식 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1995 .03

Co 이온이 주입된 GaN의 특성

김우철 ,  강희재 ,  오석근 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

이온 주입에 따른 Oxide 성장 거동 고찰

임철호 ,  김재영 ,  홍성윤 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

공정변수와 후속 열처리가 저압화학증착 다결정 실리콘 박막의 특성에 미치는 영향

황완식 ,  최승진 ,  이인규

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Buried Channel PMOS에서 이온 주입된 BF₂ 열처리 거동

허태훈 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

열처리 조건에 따른 이온주입된 실리콘의 재결정화

이창희 ,  이순일

Applied Science and Convergence Technology

1995 .12

조성이 높은 Al Al_xGa_1-x 의 이온 주입법에 N(x=0.4-0.5) 의한 도핑 및 활성화 연구

류미이 ,  E. A. Moo ,  e 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

비충돌 쉬스에서의 이온에너지 분포함수 계단식 형상 분석

성인호 ,  이영석 ,  이장재 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02