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다결정 실리콘박막의 결정립성장
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
저온 프로세스에 의한 다결정 실리콘계 박막 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
저온 프로세스에 의한 다결정 실리콘계 박막의 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
다결정 Si 잉곳 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
엑시머 레이저 어닐링을 이용하여 플라스틱 기판에 형성한 다결정 실리콘 박막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2004 .03
다결정 실리콘내 중수소 결합 형성 방법에 따른 다결정 실리콘의 광반응 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Co / Si 시스템에서 capping layer에 따른 코발트 실리사이드 박막의 형성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2000 .12
Sputter로 증착된 케이트 SiO₂ 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
실리콘 결정의 수소 흡수 : Si(100) vs. Si(111)
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
다결정 실리콘 박막내 불순물 주입영역에 따른 결정화 거동에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
X선회절을 이용한 Si / SiO₂ 및 Si / SiO₂ / poly - Si의 응력측정
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
Two - zone 확산법을 이용한 다결정 실리콘 박막으로의 Phosphorus 도핑에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
다결정 실리콘 태양전지용 웨이퍼의 물성과 태양전지 발전효율 상관관계 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
SiO₂/Si₃N₄/SiO₂와 Si₃N₄/SiO₂/Si₃N₄ 터널 장벽을 사용한 금속 실리사이드 나노입자 비휘발성 메모리소자의 열적 안정성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 채널 길이에 따른 문턱전압 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
CeO₂(111) / Si(111)위에 성장된 실리콘 박막 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
저온 다결정 AlN 박막증착과 물성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
Penning 방전을 이용한 실리콘 CVD
Applied Science and Convergence Technology
1996 .03
이온주입 된 다결정 실리콘 박막의 Reverse Annealing 거동
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
텡스텐 실리사이드 상의 얇은 SiO₂ / Si₃N₄ 막의 특성평가
Applied Science and Convergence Technology
1992 .02
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