이온채널링분석을 이용한 이온주입 및 열처리 과정에서의 결정결함의 연구

이상환 ,  김광일 ,  권오준 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

고에너지 B 이온주입에 의해 형성된 결함의 열처리 거동특성

김국진 ,  박세일 ,  유광민 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Buried Channel PMOS에서 이온 주입된 BF₂ 열처리 거동

허태훈 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

B10H₁₄ 이온 주입을 통한 ultra - shallow p+ - n junction 형성 및 전기적 특성

송재훈 ,  김지수 ,  임성일 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2002 .09

플라즈마 이온주입(Plasma Immersion Ion Implantation, PIII)방법으로 Boron 도핑된 실리콘 기판의 도펀트 활성화와 기판손상에 관한 연구

이기철 ,  유정호 ,  고대흥 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

이온주입 및 열처리 조건에 따른 인 도핑 에미터의 전기적 특성평가

박효민 ,  박성은 ,  김영도 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

조성이 높은 Al Al_xGa_1-x 의 이온 주입법에 N(x=0.4-0.5) 의한 도핑 및 활성화 연구

류미이 ,  E. A. Moo ,  e 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

이온 주입에 의한 PET막의 표면경도변화 및 광 투과도 변화

박재원 ,  이재형 ,  이재상 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .07

고에너지 자기이온주입된 씰리콘의 결함거동

조남훈 ,  노재상 ,  장기완 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

초 저에너지로 B 이온 주입된 실리콘의 후속 열처리에 따른 Deactivation 현상

유승한 ,  김은석 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

Co 이온이 주입된 GaN의 특성

김우철 ,  강희재 ,  오석근 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

As 이온이 주입된 단결정 실리콘(100)의 전기적 활성화 연구

이동건 ,  문영희 ,  손정식 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1995 .03

이온 주입에 따른 Oxide 성장 거동 고찰

임철호 ,  김재영 ,  홍성윤 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Ar이 이온주입된 Si 기판의 결함회복 특성

김광일 ,  이상환 ,  정욱진 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

1993 .12

MeV 이온주입에 의한 Retrograde Triple well 형성 시 발생하는 결함 거동

류한권 ,  김은석 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

고에너지 이온주입된 씰리콘에서 이차결함 생성에 미치는 이온종류(Si, P, B)의 효과

조남훈 ,  노재상 ,  장기완 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Fe 이온이 주입된 GaN의 구조적 및 자기적 특성

김우철 ,  김철성 ,  강희재 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2006 .06

Co 이온이 주입된 GaN의 구조적, 자기적 및 광특성

김우철 ,  강희재 ,  오석근 외 5명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2005 .06

이온주입법에 의한 CdS 나노결정 제조 및 특성 연구

최한우 ,  우형주 ,  김준곤 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

이온주입된 다결정박막 실리콘의 열처리 시 reverse annealling에 대한 연구

임정윤 ,  김보경 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02