지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택비 산화막 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
확장형 히든마코브모델을 이용한 산화막 플라즈마 식각공정의 식각종료점 검출방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
OF₂/NH₃ 리모트 플라즈마를 이용한 실리콘 산화물 식각 공정
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
유도 결합 플라즈마를 이용한 6H - SiC 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
유도 결합형 플라즈마를 이용한 BCl₃/ Cl₂/ Ar gas의 ZnO 박막의 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
유도 결합형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
식각공정 안정화를 위한 내플라즈마성 코팅부품의 신뢰성 평가방법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
산화질소를 이용한 질화산화막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
150㎜ GaAs 웨이퍼의 플라즈마 식각에서 식각 깊이의 균일도에 대한 가스 흐름의 최적화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
NF3 플라즈마 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
ECR 플라즈마 식각장치의 고진공 시스템제작 및 반도체 식각특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1991 .07
유도결합형 산소 플라즈마를 이용한 다공성 폴리머 필름의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
고밀도 유도결합형 Cl₂ / BCl₃ / Ar 플라즈마를 이용한 sapphire의 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
CF₄ / Ar 플라즈마를 이용한 Bi₄ - xLaxTi₃01₂ 박막의 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
오스테나이트계 스테인레스강의 플라즈마 질화공정에 의한 내식성 평가에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
질소 플라즈마를 이용한 실리콘 질화막의 제작 및 실리콘 질화막과 실리콘구조의 계면분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
CF4/Ar 유도결합플라즈마의 저 유전상수 SiCOH 박막 식각에 미치는 RF 파워의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
0