Su-8 박막의 기계적 물성의 크기 효과

박준협; 안중혁; 김윤재

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박준협 안중혁 김윤재

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집

발행연도: 2006.6

수록면: 23 - 28 (6page)

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This paper describes a tensile test of Su-8 to investigate the size effect on mechanical properties. The Su-8 is often used in micro-electro-mechanical systems(MEMS) devices. A non-contact position measuring system based on the principle of capacitance micrometry with 0.1㎚ resolution for displacement measurement was used. The tensile tests were performed using the developed tester and specimen. The specimen were made with dimensions of 2000㎛ long, 2 kinds of thickness, 9, 11㎛ and 3 kinds of width, 50, 100 and 150㎛. Behaviors of Su-8 have the 3kinds of stress-strain curve, showing characteristics brittle, ductile and polymer. However, it was found that the mechanical properties of Su-8 did not have an effect on thickness and width.

#Thin Film(박막) #Mechanical Property(기계물성) #Su-8(Su-8) #Polymer(폴리머)

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