지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
본 연구에서는 SU-8을 절연층으로 사용해 솔루션 공정을 바탕으로 하여 Indium Zinc Oxide(IZO) thin film transistor(TFT)의 안정성을 향상에 대해 연구하였다. 매우 점성이 강하며 negative lithography 용으로 사용되는 SU-8은 기계적, 화학적으로 높은 안정도를 가진다. 그리고 이 SU-8을 사용해 TFT층의 위에 스핀코팅을 사용해 절연막 층을 쌓고 photo lithography를 이용해 patterning을 하였다. SU-8층에 의한 positive bias stress(PBS)에 대한 전기적 특성 향상의 이유를 연구하기 위해 TFT에 X-ray photoelectron spectroscopy(XPS), Fourier transform infrared spectroscopy(FTIR) 분석을 시행하였다. SU-8을 절연층으로 한 TFT는 좋은 전기적 특성을 보였으며, 전류점멸비, 전자이동도, 문턱전압, subthreshold swing이 각각 10<SUP>6</SUP>, 6.43cm²/V·s, 7.1V, 0.88V/dec로 측정되었다. 그리고 3600초 동안 PBS를 가할 시 ΔV<SUB>th</SUB>는 3.6V로 측정되었다. 그러나 SU-8 층이 없는 경우 ΔV<SUB>th</SUB>는 7.7V 였다. XPS와 FTIR을 분석한 결과, SU-8 절연층이 TFT의 산소의 흡/탈착을 차단하는 특성에 의해 PBS에 강한 특성을 나타나게 함을 확인하였다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 토의
Ⅳ. 결론
REFERENCES
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
다양한 Passivation 물질에 따른 IGZO TFT Stability 개선 방법
전기전자재료학회논문지
2020 .01
-
1st Passivation 구성 물질 및 Asymmetric Passivation 구조 적용에 따른 AlGaN/GaN HEMT 소자의 차단주파수 및 항복전압 동작 특성 향상에 관한 시뮬레이션 연구
대한전자공학회 학술대회
2024 .06
-
Implementation and Validation of γ-Reθt Transition Model on SU2
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2022 .10
-
Hydrogen passivation of In-Sn-O and In-Zn-O thin films for mechanical stability
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
-
Investigation of annealing temperature for solution-processed yttrium oxide passivation layer on a-IGZO thin-film transistors
ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications
2015 .06
-
Solution-Processed Al₂O₃ 확산층을 이용한Sputtering IZO Thin Film Transistor의 안정성 향상
전기전자재료학회논문지
2018 .07
-
Mechanical behavior of metallic thin films with ultra-thin passivation layer
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .06
-
Al₂O₃ interlayer 도입을 통한 MoOX박막 패시베이션특성
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2021 .05
-
Influence of Passivation Layer with Different Thickness on Cu₂ZnSn(S,Se)₄ Solar Cell Performance
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2018 .04
-
산화구리의 광전기화학적 거동 특성
한국재료학회지
2019 .01
-
고신뢰성 전자소자 개발을 위한 PTFE 패시베이션 기반 In₂O₃ TFT 연구
한국통신학회 학술대회논문집
2022 .11
-
유기물과 무기물 이중층 구조의 패시베이션을 통한 IGZO 박막 트렌지스터의 전기적 특성 및 PBS안정성 향상
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .07
-
AlGaN/GaN HEMT 소자의 1st Passivation 및 AlGaN Layer 두께 변화에 따른 동작 특성 시뮬레이션
대한전자공학회 학술대회
2022 .06
-
결정질 실리콘 태양전지 적용을 위한 ALD-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 패시베이션 막의 산화질화막 적층 특성
한국재료학회지
2015 .01
-
Reduced Water Vapor Transmission Rates of Low-Temperature Solution-Processed AlOx Passivation Layers via Photo Annealing for Device Applications
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2017 .10
-
Tradeoff Control of Multi-exposure Lithography for SU-8 Photochemical Reaction Channel Formation
BioChip Journal
2020 .01
-
Enhancing Passivation and Thermal Stability of an AlOx Passivation Layer in Crystalline Silicon Solar Cells
AFORE
2023 .11
-
Improving Electrical Stability of a‑InGaZnO Thin‑Film Transistors with Thermally Deposited Self‑Assembled Monolayers
Electronic Materials Letters
2020 .01
-
CMP 공정에서 SU-8 코팅층의 가장자리 박리에 대한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .10
-
Enhancement of Mechanical and Thermal Properties of SU‑8 Photoresist with Multilayer Woven Glass Fabric Based on Micromachining Technology
Electronic Materials Letters
2020 .01
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0