Electrical properties of Al/SiOCH/p-Si(100) structure with HMDSO/O₂ precursors deposited by PECVD

Young Jun Jang ,  R. Navamathavan ,  Doo Chul Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Characteristics of plasma polymerization films using HMDSO precursor on 316L stainless

Ying LEE ,  Si-Bu WANG ,  Jyh-Wei LEE 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Electrical properties of HfO_xN_y thin films deposited by PECVD

J.-H. Pa ,  k ,  J.-S. Hyun 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Photoluminescence chracteristics of SiN_x thin film deposited by PECVD at low temperature

Kyungsu Lee ,  Eunkyeom Kim ,  Kyongmin Kim 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

HMDSO와 산소를 이용한 PECVD 증착 SiOxCy필름의 특성연구

김성룡 ,  이호영

Applied Science and Convergence Technology

2001 .07

The properties of low-k thin film deposited by PECVD using the mixed precursors of hexamethyldisiloxane and triethoxysilylallylethylether as the precursors

이성우 ,  도상민 ,  양재영 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

Properties of low-k dielectrics of SiOCH thin film fabricated by changing BTMSM/O2 flow rates through the two dimensional correlation analysis

황창수 ,  김종욱 ,  김민석 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature

Jeon G. HAN ,  Jun S. LEE ,  Bibhuti B. SAHU 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Structural and electronic properties of low dielectric constant SiOC(-H) films deposited by using PECVD from DMDMS/O₂ precursors

Chang Young Kim ,  An Soo Jung ,  R. Navamathavan 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Wettability control in C-SiOx film formed by plasma polymerization of HMDSO/O₂ mixture

Seong Jin Kim ,  Kwang-Ryeol Lee ,  Myoung-Woon Moon

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2011 .02

PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우 ,  김형준

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1992 .07

HMDSO와 산소를 이용한 SiOx 필름의 특성연구

김성룡 ,  송준섭 ,  박성철 외 1명

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2000 .07

p - Xylene precursor를 사용한 low k 유기박막의 PECVD 증착 및 전기적특성

권영춘 ,  주종량 ,  정동근

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1999 .02

A study for the hybrid low-k polymer thin films by PECVD and their electrical and mechanical properties

배인섭 ,  조상진 ,  부진효

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2007 .08

Surface Modification of Polyimide Films, Filter Papers, and Cotton Cloth by HMDSO/Toluene Plasma at Low-Pressure and their Wettability

Soon Cheon Cho ,  Jin Won Song ,  Chang Soo Han

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2009 .02

TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구

안경한 ,  설용건 ,  김선효

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1992 .07

PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis

Kanade Vinit ,  Hyeong-U Kim ,  Seokjun Hong 외 1명

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2020 .02

ORGANIC POLYMER THIN FILMS DEPOSITED ON SILICON AND COPPER BY PECVD METHOD AND CHARACTERIZATION OF THEIR ELECTROCHEMICAL AND OPTICAL PROPERTIES

I. S. Bae ,  S. H. Cho ,  Z. T. Pa 외 3명

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2003 .08

The RIE resistance and film properties of doped amorphous silicon hardmask deposited by PECVD with disilane as the precursor

Sungwoo LEE ,  Jaeyoung YANG ,  Seokhwan KIM 외 5명

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2016 .08

Study on Synthesis and Analysis of Organic-Inorganic Hybrid polymer Thin films by PECVD for Low-k materials

S.-J. Cho ,  I.-S. bae ,  J.-H. Boo

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2007 .02