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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 재료 및 파괴부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2009.4
수록면
175 - 179 (5page)

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The mechanical and electrical property of small-sized materials has been an important subject due to various applications such as semiconductors, MEMS devices, micro-nano sensors and flexible electronic devices. However, it has many difficulties because of not only fabrication and alignment of specimens, but also the measurement of strain and infinitesimal resistance of thin film.
In this work, we used the real-time DIC strain measurement system in micro-tensile testing system. For measurement of electrical resistance, voltage/current sourcemeter is installed in the system. This system has advantages of real time strain monitoring up to 50 ㎚ resolution during micro-tensile test with the ability to measure a small amount of electrical resistance. For the measurement of electrical and mechanical properties, we fabricated micro-tensile specimens which are 200 ㎚ and 1.0 ㎛ thick and 70 and 200 ㎛ wide of gold thin film.
#Electrical and mechanical property(전기 역학 복합 물성) #Micro-tensile test(미소 인장시험) #Gold thin film(금 박막)

목차

Abstract
1. 서론
2. 시편 제작
3. 측정 시스템의 구성
4. 실험 및 고찰
5. 결론
후기
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