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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 춘계학술대회 논문집
발행연도
2007.5
수록면
92 - 96 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2008

정전기렌즈에 의한 전계방출 전자빔 방출 특성 해석 및 실험
김충수 ,  박만진 ,  양희남 외 4명 대한기계학회 춘추학술대회 2008.06 학술대회자료

2007

3극 전계방출 전자총의 정전기 렌즈에 의한 전자빔 거동
김충수 ,  김동환 ,  박만진 외 2명 한국생산제조학회지 2007.12 학술저널
전계방출 전자총의 전기장렌즈의 해석 및 실험
김충수 ,  김동환 ,  박만진 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.05 학술대회자료

초록· 키워드

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A field emission electron gun including 3 electrodes which are one cathode and two anodes is very important for high resolution electron microscope and electron beam lithography. To have functions to control the initially-emitted electron beam in 3 electrode, two anodes act as an electrostatic lens according to equipotential lines with the capability of adjusting the spot size, intensity, and working distance. To verify the action of electrostatic lens by changing some parameters such as electrode shape, displacement and applied voltage to the electrodes, the two lenses were design and simulated and then their performances were analyzed with angular beam intensity (distribution), electrical optic axis variation and their stability.
#field emission #electron gun #electrostatic lens #equipotential line #angular beam intensity #electrical optic axis

목차

Abstract
1. 서론
2. Lens Design
3. Experimental Setup
4. Discussion
5. Conclusion
후기
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전계방출을 이용한 전자현미경의 설계 및 제작
장동영 ,  김동환 ,  박근 외 5명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2006 .05
전계방출 주사전자 현미경의 전자광학계 수치해석
박근 ,  박만진 ,  김동환 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2006 .06

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