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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 추계학술대회 논문집
발행연도
2005.10
수록면
284 - 289 (6page)

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Due to the ability of direct patterning of various engineering materials, the use of ion beams in industries is increased as is increased the needs of producing macro / nano scale parts. And the use of focused ion beam(FIB) and ion milling in combinational way has a great potential in MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) fabrication with various ways. Re-deposition, is the serious problem in ion beam direct fabrication, fluxes is the kinds of byproduct of sputtering caused by energetic ion incidence on substrate as the results of ion beam-solid interactions. Surface evolution during growth and erosion has been a subject of great academic and technological interest in recent year. This paper discusses the profiles changes induced by ion milling process considering the re-deposition flux. Several examples are demonstrated to verify the results of numerical calculation.
#Ion beam #Sputtered atoms #Re-deposition #Ion milling #Nano fabrication

목차

Abstract
1. 서론
2. 이온빔 가공 및 재증착
3. 시뮬레이션
4. 결과
5. 결론
참고문헌

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