SEM Tribosystem에 의한 CVD TiN막의 미시적 마모 특성 평가

문봉호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 문봉호

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제37권 제3호

발행연도: 2004.6

수록면: 137 - 145 (9page)

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This study surveys the microscopic wear of CYO TiN coatings in repeated sliding, using the SEM Tribosystem as in-situ system. According to the research, the depth of wear groove and the specific wear amount are changed by the transition of the microscopic wear mode. This investigation leads to the fact that the change of wear characteristics produces the transition of the wear mode. In this survey, four modes are observed for CYO TiN coatings with the thickness of 1.6 ㎛: ploughing, powder formation, flake formation and coating delimitation. The microscopic wear properties is quantitatively evaluated in terms with the microscopic wear mode and the specific wear amount. These relationships prove that the observation of wear modes with a SEM Tribosystem is useful to evaluate wear properties.

#Microscopic wear #Wear mode #Specific wear amount #SEM tribosystem #CVD TiN coating

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