DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

Remote Plasma Enhanced CVD에 의한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 제작 및 특성 연구 ( Fabrication and Characterization of a-Si : H Films by a Remote Plasma Enhanced CVD )

양영식 ,  윤여진 ,  장진

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

Control of plasma CVD films containing group IV nanoparticles

Masaha ,  u Shi ,  atani 외 8명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Plasma-Induced Subsurface Reactions in Plasma CVD Process

Hi ,  oshi Fujiyama ,  Masano 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

DC Plasma CVD 법에 의한 다이아몬드의 성장에 관한 연구

이상현 ,  예길촌 ,  백운승 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1993 .11

고주파 발진기를 이용한 CVD 장치의 제작 및 평가 ( Fabrication and Evaluation of CVD System using R. F. Generator )

김정회 ,  김철주

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

RP-CVD에 의한 비정질 실리콘 박막의 특성 ( Characterization of a-Si : H films deposited by a remote plasma CVD )

황정태 ,  정창영 ,  정관수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

450mm 반도체 CVD 장비 및 300mm F-CVD 공정용 8kW급 주파수 가변형 RF Generator 개발

김대욱 ,  양대기 ,  안영오 외 3명

전력전자학회 학술대회 논문집

2014 .07

Microwave Plasma CVD로 제조한 다이아몬드 박막의Morphology에 관한 연구

박영수 ,  김성훈 ,  이조원

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF플라즈마 CVD법에 의한 Diamond합성

박상현 ,  이덕출

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

Remote Plasma Enhanced CVD에 의한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 제작 및 특성 연구

양영식 ,  윤여진 ,  장진

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

고주파플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드상 탄소박막의 합성

朴相鉉 ,  李德出

전기학회논문지

1990 .10

고주파 플라즈마 CVD에 의한 저 압력에서의 다이아몬드 막의 성장

具孝根 ,  朴相鉉 ,  朴在潤 외 1명

전기학회논문지 C

2001 .02

Plasma CVD 에 의한 DLC 박막 제작시 수소가스의 영향

문양식 ,  이재성 ,  이해승 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

Characterization of Silicon Oxynitride Film by Plasma CVD

Yung Kwon Sung

KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING

1992 .01

CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

CVD-Cu film의 특성에 증착온도가 미치는 영향

민재식 ,  이원준 ,  라사균 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

Deposition of Plasma Polymerized Films on Silicon Substrates Using Plasma Assisted CVD Method For Low Dielectric Application

M. C. Kim ,  S. H. Cho ,  J. H. Boo 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06