CVD Cu의 핵생성 및 성장에 관한 연구

한성희 ,  이종무

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

TIN위에 증착시킨 CVD Cu막과 electroless plated Cu막의 특성 비교

권영재 ,  이종무

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Polyimide 기판을 이용한 CVD-Cu 박막 형성기술

조남인 ,  임종설 ,  설용태

한국산학기술학회 논문지

2000 .06

CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

CVD에 의한 SnO₂ Film 제조시 증착조건이 Film의 증착속도 및 물리적 성질에 미치는 영향

이동윤 ,  이상래

한국표면공학회지

1985 .09

COMPARISON OF CHARACTERISTICS OF THE CVD Cu FIKM WTIH THOSE OF THE ELECTROLESS PLATEX Cu FILM

Kwon ,  Youngjae ,  Lee 외 1명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

Cu 배선공정에서 CVD-TiN 박막의 확산방지막 특성

정득석 ,  박기철 ,  송병창 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

Fabrication and Characteristics of CVD Cu Thin Films Using ( Hfac ) Cu ( VTMOS )

이종현 ,  이재곤 ,  박상준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

Hot Wire CVD법에 의한 미세결정 실리콘 박막의 저온 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

PROPERTIES OF THE CVD-Cu FULMS ON $SiO_2$ AND BPSG SUBSTRATES

Lee ,  Chong-Mu ,  Han 외 1명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

LOW TEMPERATURE DEPOSITION OFSIO_x FILMS BY PLASMA-ENHANCED CVD USING 100 ㎑ GENERATOR

Nobuyuki Kakinoki ,  Takenobu Suzuki ,  Osamu Takai

한국표면공학회지

1996 .12

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구

유환성 ,  박근영 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

수평 및 수직형 CVD 증착로의 실리콘 부착에 관한 수치해석 ( Numerical Analysis of Silicon Deposition in Horizontal & Vertical CVD Reactor )

김인 ,  백병준

대한기계학회 논문집 B권

2002 .03

CVD법에 의한 SnO2 Film의 제조에 관한 연구 ( The Study on the Production of SnO2 Film by CVD Method )

이동윤 ,  이희웅 ,  이상래

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

구리박막용 CVD를 위한 유기금속화합물 제조에 관한 연구

황순택 ,  조영상 ,  최형수

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

고주파 플라즈마 CVD에 의한 저 압력에서의 다이아몬드 막의 성장

具孝根 ,  朴相鉉 ,  朴在潤 외 1명

전기학회논문지 C

2001 .02