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FE Properties of Carbon Nitride Prepared by Microwave Plasma CVD
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
Synthesis of Carbon Nitride Films by Dual Microwave Plasma Source CVD
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
Effect of pulse frequency on carbon nitride synthesized using pulsed microwave plasma CVD
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd
한국표면공학회지
1996 .12
새로운 X 선 마스트 기판재료로서 ECR plasma CVD를 이용한 carbon nitride 재료의 개발
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Microwave Plasma CVD로 제조한 다이아몬드 박막의Morphology에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
LOW TEMPERATURE DIAMOND GROWTH USING MICROWAVE PLASMA CVD
한국표면공학회지
1996 .10
NITROGEN DOPED DIAMOND LIKE CARBON FILM SYNTHESIZED BY MICROWAVE PLASMA CVD
한국표면공학회지
1996 .10
SYNTHESIS OF CARBON NITRIDE THIN FILMS BY PLASMA PROCESSING
한국표면공학회지
1996 .10
EFFECT OF SUBSTRATE BIAS ON THE DIAMOND GROWTH USING MICROWAVE PLASMA CVD
한국표면공학회지
1999 .06
Preparation of B-doped diamond using mode-conversion type microwave plasma CVD
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
SiH₄-N₂ 혼합가스를 사용한 플라즈마 CVD 실리콘질화막의 堆積과 電氣的 特性
전기학회논문지
1986 .08
포스트 플라즈마를 이용한 질화의 질화층 형성에 미치는 전처리의 영향에 대한 연구
열처리공학회지
2005 .01
Laser CVD SiN막의 전기적 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1990 .11
마이크로웨이브 플라즈마 CVD에 의한 나노결정질 다이아몬드 박막 성장 시 DC 바이어스 효과
한국표면공학회지
2013 .02
마이크로파 플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드 박막의 결정배향성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1991 .10
LOW TEMPERATURE DEPOSITION OFSIOx FILMS BY PLASMA-ENHANCED CVD USING 100 ㎑ GENERATOR
한국표면공학회지
1996 .12
DC Plasma CVD 법에 의한 다이아몬드의 성장에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1993 .11
저압가스질화에서 탄소강의 초기 화합물층 형성 거동
한국표면공학회지
2011 .06
Plasma-Induced Subsurface Reactions in Plasma CVD Process
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
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